TrojanUV�O����ijƽ���@ʾ���S�ҵđ���
�aƷ��̖��
TrojanUVLogic03TS20,UVLogic08TL20
���c:
ͨ�^���������������TrojanUVLogic™ϵ�y(t��ng)�����������ЙC̼���Ӳ�����˵ڶ��ε�ȥ�x������,���ڃɶ�ȥ�x�ӹ�ˇ֮�g���bһ��TrojanUVLogic™ϵ�y(t��ng)�ѱ��C��������ϵ�y(t��ng)̎����ˮ�����ṩ����ˮ�ă����̶�,���mȻ��ϵ�y(t��ng)�������Ă��y(t��ng)����ϵ�y(t��ng)��������ܣ���ʹ�õğ��ܔ��s���Ĝp����,��
TrojanUVLogic™ϵ�y(t��ng)߀��ȥ��ˮ�е���,���Ķ����o�ˌ������еķ��BĤ��RO����ȥ��ˮ�К���ij������Ա��o���m(x��)�����O��,��
�Ñ���ijƽ���@ʾ��������˾
���}��
ԓ��˾���½����պ��Y�S,�����I(y��)���aҺ���@ʾ���ò�ɫ�V��Ƭ�������a�^������Ҫ����ˮ������ϴˮԴ,��ˮ�|�����Ќ�TOCҪ����^����,����Ҫ�_��10ppb���¡�ˮ̎�����̹�˾�OӋ2��RO���M��TOCUV,�����TOC������100ppb����,��ͨ�^2��TOCUV�팢TOC��K���10ppb���¡�������34.5m3/С�r,��
������
TrojanUVLogic™ϵ�ЮaƷ,���ǹ��I(y��)ˮ̎�����⾀�O��Ĵ�����̖,���m���c�댧�w��Ӯa�I(y��)�Ě���������TOC,��ȥ�������ȑ���,���e�nj�������TOC��Tϵ�ЮaƷ�����ܞ�͉��ߏ����R��,�������؝������е�SUPRASIL���g,��ʹ��֧���ܵ�185nm���⾀�l(f��)���ʴ���^����Ʒ��ͬaƷ���Ķ��_���O����ܔ���ֻ��Ҫ����Ʒ�ƮaƷ�ğ��ܔ�����1/4-1/6,���p�����O���\�к�ľS�o�ɱ�������,��
��̎��
TrojanUVLogic™ϵ�ЮaƷ���ڇ���߀�]������ƽ���@ʾ���ИI(y��),����ԓ�ИI(y��)��������Ї�����l(f��)չ�İ댧�w�a�I(y��),����ˮ�|Ҫ��O����oӹ�Ɇ�,��ƽ���@ʾ���ИI(y��)Ҳ�������Ї�����Ѹ�ٰl(f��)չ�������պ��Y�Ŀ��,��TrojanUVLogic�đ���,���ɞ�UVLogic�aƷ��ԓ�ИI(y��)�ijɹ����������ڽ����ԓ�ИI(y��)���ƏV,��ԓ�Ŀ�϶�����ʾ��������,��
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W”