��ʽ���m���ij��m�C��
��ʽ���m����һ�N��ʽ�ĸ�Ч���m��,���������w�S������^�V�����M�г��m,����1.0μm�ķۉm��Ч�ʸ��_98��һ99��,���V��ͨ�����ɈA���Σ�ֱ����125—500mm��,���ЕrҲ���ɱ��L���Σ��V���L��һ���2m����,�������,�����ڸߜ؞V�Ϻ���Ҽ��g�İl(f��)չ����ʽ���m����ұ��,��ˮ��,�����W���մ�,��ʳƷ�Ȳ�ͬ�Ĺ��I(y��)���T�õ��V������,�����ڴ�ʽ���m���ij��mЧ�ʸߣ���������՚�ĺ��m������_���l(w��i)���˜ʵ�Ҫ��ֱ�ӷ���܇�g��ѭ�h(hu��n)ʹ��,���Թ�(ji��)ʡ���ܡ�С�ʹ�ʽ���m�C�M�����@�ӹ�����,��
1���^�V�C��
��ʽ���m��ͨ�^����,��ë�������w�S�����ӹ��ɵĞV�ρ��M���^�V,����Ҫ�����V�ϱ����γɵķۉm���Ӻͼ��m���M���^�V����,����ͨ�^���NЧ�������ۉm��
��1���Y�VЧ�������ۉm�������ȞV�Ͽ�϶��V���ϵij��ӿ�϶��r,���ۉm�㱻������,��
��2���T����ײЧ�������m���w���^�V�ϕr���m���ڑT�����������c�V����ײ��������,��
��3���UɢЧ�����ռ��ۉm���ڲ����\���c�V�Ͻ��|��������,��
�^�V�^����D5-6-1��ʾ�����m���wͨ�^�V�ϕr,���S���������˞V�σȲ�,��ʹ�w�S�g���g��u�pС����K�γɸ����ڞV�ϱ���ķۉm�ӣ��Q����ӣ�,����ʽ���m�����^�V������Ҫ�������@�����Ӽ��Ժ���u�ѷe�����ķۉm���M�е�,���@�r�ĞV��ֻ�������γɳ��Ӻ�֧�����ĹǼ����á��S���ۉm�ڞV���ķe��,���V���ɂȵĉ�������,���ۉm�ӃȲ��Ŀ�϶׃С���՚�ͨ�^�V�Ͽ��ەr����������,���@�ӕ���ճ���ڿp϶�g�ĉm������,��ʹ���mЧ���½������������^��,����ʹ�V�����ړp��,��ͨ�Lϵ�y(t��ng)�L��һ������˳��m���\��һ�Εr�g��,��Ҫ���r�M�����,����ҕr�����Ɖij��ӣ�����Ч���½�,��
�D5-6-2��ʾ���ʽ���m���ķּ�Ч������,�����ڞV�ϱ����ľW���^��һ���20��50μm,��������q�ĞV�ϼs��5��10μm,����ˣ��V���ij��mЧ���Dz��ߵģ���1μm�ĉm��ֻ��40������,���S���ۉm�ӵ��γ�,���ۉm�ӳɞ���Ҫ���^�V���ã����mЧ�������,�����ڴ�ʽ���m����Ҫ�����ۉm�Ӂ��^�V�����ۉm,����ˣ���ʹ�W���^��ĞV��,��ֻҪ�OӋ����,����1μm���ҵĉm��Ҳ�ܵõ��^�ߵij��mЧ�ʡ�
![]() |
![]() |
�D5-6-1�V�ϵ��^�V���� �D5-6-2��ʽ���m���ּ�Ч��
2���V�ϵ��A�����^�V���g
�ڂ��y(t��ng)�Ĵ�ʽ���m����ʹ���A�ȸ���һ�ӷۉm�ӣ��Q���A���ӣ�,��ͨ�^�A���Ӳ��ϵ�����,�����ա�����Ч�������I(y��)�U���еĚ�,��Һ����Ⱦ���A�ȃ���,��Ȼ���ٰџ����еĹ�����Ⱦ��ͬ�rȥ�����@�N���g�Q���A�����^�V���g,���������X늽��^�����a���ğ�����,�������зۉm�⣬߀��һ�����ķ�����͞r������,�,����Բ��������X��ĩ�����A���Ӳ��ϣ����������X��ĩ�������䟟�������Ч���ͷ۠���r�����ĸ��x����,���_����Ч,����(w��n)��̎���X늽⟟���Ŀ�ġ����ð���ʯ��ĩ���A���Ӳ����M�Оr�������ʽ�^�V����,��Ҳȡ�����õ�Ч��,��Ŀǰ�����ⶼ�ڷe�O�о��_�l(f��)��헼��g��ʹ��õ����V���đ���,����̎����SO2�ğ����,�����ڸ�ճ�Էۉm�������\�ۉm�������A���Ӽ��g̎��,����ʹ���m�������½�,��Ч����ߡ�

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W”