��ʽ���m���ij��m�C(j��)��
��ʽ���m����һ�N��ʽ�ĸ�Ч���m��,���������w�S������^(gu��)�V�����M(j��n)�г��m����(du��)1.0μm�ķۉm,��Ч�ʸ��_(d��)98��һ99��,���V��ͨ�����ɈA���Σ�ֱ����125—500mm�����Еr(sh��)Ҳ���ɱ��L(zh��ng)����,���V���L(zh��ng)��һ���2m����,�������(l��i)�����ڸߜ؞V�Ϻ���Ҽ��g(sh��)�İl(f��)չ,����ʽ���m����ұ��,��ˮ�ࡢ���W(xu��),���մ�,��ʳƷ�Ȳ�ͬ�Ĺ��I(y��)���T�õ��V����(y��ng)�á����ڴ�ʽ���m���ij��mЧ�ʸ�,����������՚�ĺ��m������_(d��)���l(w��i)����(bi��o)��(zh��n)��Ҫ��,����ֱ�ӷ���܇�g��ѭ�h(hu��n)ʹ�ã��Թ�(ji��)ʡ����,��С�ʹ�ʽ���m�C(j��)�M�����@�ӹ�����,��
1���^(gu��)�V�C(j��)��
��ʽ���m��ͨ�^(gu��)���ޡ�ë,�������w�S�����ӹ��ɵĞV�ρ�(l��i)�M(j��n)���^(gu��)�V,����Ҫ�����V�ϱ����γɵķۉm���Ӻͼ��m���M(j��n)���^(gu��)�V���á���ͨ�^(gu��)���NЧ��(y��ng)�����ۉm,��
��1���Y�VЧ��(y��ng)����(d��ng)�ۉm�������ȞV�Ͽ�϶��?y��n)V���ϵij��ӿ�϶��r(sh��),���ۉm�㱻������(l��i)��
��2���T����ײЧ��(y��ng)�����m���w���^(gu��)�V�ϕr(sh��),���m���ڑT�����������c�V����ײ��������,��
��3���U(ku��)ɢЧ��(y��ng)���ռ�(x��)�ۉm���ڲ����\(y��n)��(d��ng)�c�V�Ͻ��|����������
�^(gu��)�V�^(gu��)����D5-6-1��ʾ,�����m���wͨ�^(gu��)�V�ϕr(sh��),���S���������˞V�σ�(n��i)����ʹ�w�S�g���g��u�pС,����K�γɸ����ڞV�ϱ���ķۉm�ӣ��Q����ӣ�,����ʽ���m�����^(gu��)�V������Ҫ�������@��(g��)���Ӽ��Ժ���u�ѷe����(l��i)�ķۉm���M(j��n)�еġ��@�r(sh��)�ĞV��ֻ�������γɳ��Ӻ�֧�����ĹǼ�����,���S���ۉm�ڞV���ķe��,���V���ɂ�(c��)�ĉ������ۉm�Ӄ�(n��i)���Ŀ�϶׃С,���՚�ͨ�^(gu��)�V�Ͽ��ەr(sh��)����������,���@�ӕ�(hu��)��ճ���ڿp϶�g�ĉm�����ߣ�ʹ���mЧ���½������������^(gu��)��,����(hu��)ʹ�V�����ړp��,��ͨ�L(f��ng)ϵ�y(t��ng)�L(f��ng)��һ������˳��m���\(y��n)��һ�Εr(sh��)�g��,��Ҫ���r(sh��)�M(j��n)�����,����ҕr(sh��)�����Ɖij��ӣ�����Ч���½�,��
�D5-6-2��ʾ���ʽ���m���ķּ�(j��)Ч������,�����ڞV�ϱ����ľW(w��ng)���^��һ���20��50μm,��������q�ĞV�ϼs��5��10μm,����ˣ��V���ij��mЧ���Dz��ߵ�,����(du��)1μm�ĉm��ֻ��40������,���S���ۉm�ӵ��γɣ��ۉm�ӳɞ���Ҫ���^(gu��)�V����,�����mЧ�������,�����ڴ�ʽ���m����Ҫ�����ۉm�Ӂ�(l��i)�^(gu��)�V�����ۉm�����,����ʹ�W(w��ng)���^��ĞV��,��ֻҪ�O(sh��)Ӌ(j��)��������(du��)1μm���ҵĉm��Ҳ�ܵõ��^�ߵij��mЧ��,��
 |
 |
�D5-6-1�V�ϵ��^(gu��)�V���� �D5-6-2��ʽ���m���ּ�(j��)Ч��
2���V�ϵ��A(y��)�����^(gu��)�V���g(sh��)
�ڂ��y(t��ng)�Ĵ�ʽ���m����ʹ���A(y��)�ȸ���һ�ӷۉm�ӣ��Q���A(y��)���ӣ�,��ͨ�^(gu��)�A(y��)���Ӳ��ϵ�����������,������Ч��(y��ng)�����I(y��)�U���еĚ�,��Һ����Ⱦ���A(y��)�ȃ�����Ȼ���ٰџ����еĹ�����Ⱦ��ͬ�r(sh��)ȥ��,���@�N���g(sh��)�Q���A(y��)�����^(gu��)�V���g(sh��),���������X늽��^(gu��)�����a(ch��n)���ğ����У������зۉm��,��߀��һ�����ķ�����͞r������,�����Բ��������X��ĩ�����A(y��)���Ӳ���,�����������X��ĩ��(du��)�����䟟�������Ч��(y��ng)�ͷ۠��(du��)�r�����ĸ��x����,���_(d��)����Ч����(w��n)��̎���X늽⟟���Ŀ��,�����ð���ʯ��ĩ���A(y��)���Ӳ����M(j��n)�Оr�������ʽ�^(gu��)�V����,��Ҳȡ�����õ�Ч����Ŀǰ��(gu��)��(n��i)�ⶼ�ڷe�O�о��_(k��i)�l(f��)���(xi��ng)���g(sh��)��ʹ��õ����V���đ�(y��ng)��,����̎����SO2�ğ����,����(du��)�ڸ�ճ�Էۉm�������\�ۉm�������A(y��)���Ӽ��g(sh��)̎��,����ʹ���m�������½�,��Ч�����,��
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
