NBLϵ�y(t��ng)�ɸ����x�ӹ�����������O(sh��)�䣬�����x���b��,����һ����b��,�������x�Ӽ����b�ã��o�O�����⾀�b��,���ڶ�����b�ýM��,��̎���^����ѭ��������(qi��ng)���ּ�����,���O(sh��)��������е͝�ȏU�����һ�����O(sh��)��,��Ҳ������ߝ�ȏU��̎�������g�����O(sh��)�䣬����Ч�ʲ�����98%,����(j��ng)��(j��),����ȫ����Ч,�����,��

1�����x�ӳ������g(sh��)

���ý��|(zh��)������ڷ�늼��g(sh��)���ڿ՚���С��40%�r(sh��),��1�׷����x�ӝ�ȴ���160�f,�����^�‡������ͬa(ch��n)Ʒ,���h(yu��n)�h(yu��n)���ڇ���(n��i)������ĸ�ܷ�늵�ͬ��O(sh��)��,��

��˾�аl(f��)�Ĵ�����׃�l�߉�늕���늼��g(sh��),����׃���y(t��ng)ģ�K�Y(ji��)��(g��u)���O�󽵵��O(sh��)��ɱ�,�������I(l��ng)��,�����x�Ӽ����b���������x�ӝ�ȸ��_(d��)270�f�������p���|(zh��)���,�����������x�Ӕ�(sh��)��������,�����������@������(qi��ng)��

2�����x�Ӽ��ټ��g(sh��)

�����x�Ӽ����b����һ�(xi��ng)��(chu��ng)�¼��g(sh��),�������x��Ó�x�l(f��)��ܺ�,���x�ӵĄ�(d��ng)����u�p��������Ⱦ��ײ���C(j��)�����@�p��,��ײ���ٶ����@����,��ʧȥ����������

�����x�Ӽ��ټ��g(sh��)���ø��l��2540KHz����ʎ���g(sh��),�����ԃ|�������������x�ӵ��\(y��n)��(d��ng)����,���چ�λ�w�e��(n��i)�����x�ӝ�ȣ��Σ����^�l(f��)��ij�ʼ�A�Σ����о��x���ֲ�����x�ӳ�����Ч��,��ͬ�r(sh��)����˸����x�ӳ��􌦏�(f��)�s�l���Ŀ��ɔ_����,��

3΢���o�O�����⾀��⼼�g(sh��)

΢���o�O�����⾀���g(sh��)���ҹ�˾���ش�Ƽ����P(gu��n)�(xi��ng)Ŀ����Ŀǰ����(n��i)�ٔ�(sh��)����΢���o�O�����g(sh��)̎��U��Ĺ�˾,����΢�����l(f��)�ğo�O�����⾀��Ŀǰ���I(y��)��(y��ng)�����(qi��ng)�����⾀,�����⾀�������^65mw/cm2��185nm,��176nm,��173nm��154nm���L�����⾀�ڹ��V���_(d��)��14%,����������_(d��)��13eV,����Ѹ��˺����Ⱦ������x�ӎ���늺ɵ������ӈF(tu��n)���ڵ�һ�r(sh��)�g���ѽ�,���ɞ������������,�����c���߼��������A�Ρ����b��̎�퐺��U��r(sh��),�����Ը���(j��)�U���Ħ�����,�����Ƴ����İl(f��)������ͬ�r(sh��)����(j��)���ú͹��I(y��)��Ҫ���O(sh��)Ӌ(j��)�o�O���Ĕ�(sh��)���ͮa(ch��n)��������,�����ϲ��ҷ�ֹ����ʣ���ŷ�,��

ͬ�r(sh��)������������ӱ��ѽ⣬���ɳ���,���ڵڶ�����b���M(j��n)һ���͚�����Ⱦ�ﷴ��(y��ng),��

ϵ�y(t��ng)���@�x�Ӽ����b��չ�_,�������b����ǰ�(q��)�����x�ӵļ���վ�����Ǻ��m(x��)�o�O���ļ��l(f��)Դ,���O(sh��)Ӌ(j��)�ƌW(xu��)���Y(ji��)��(g��u)�b��,�������O(sh��)����ò��P䓺�ʯӢ�����M��,���͸��Ժã�̎���^����Ⱦ��o�κ�������|��ȫ�Ը�ʹ�É����L,��