Ultrapure-100��������Ĺ��ϵ�y(t��ng),��Ӌ��(sh��)��ͨӍ�·��һ�����ص����ٿ���ϵ�y(t��ng),�����еĶ�������һ���ܝM����N����,��������DI water����S�ȱO(ji��n)��,������ϵ�y(t��ng)�����ٳ��^of 1.0 L/min���@�ӽY�����зdz,������ϴ,���֏͕r�g�����_�����٣������ڄӑB(t��i)����ډ���. 

Ultrapure-100��һ��������������ϵ�y(t��ng),���؄e���ڰ��b�򼯳ɵ��F(xi��n)��ϵ�y(t��ng)��,����FMS��facility monitoring system ���� BMS��building management system����Ҳ�����x������һ�������Ĝyԇ�x��,��߀���S����õļ�������ܛ��,�� 

���c�� 

0.1��0.2μm�Ę˜��w���ߴ磬����0.1��5.0μm�����ȶ��� 

�O�õ��������ƺ̈́ӑB(t��i)����ډ����{��(ji��)�߂�O����坍�ͻ֏͕r�g 

�����ٱ��C�˿��ٵ���ϴ�r�g 

��(y��u)��������{��(ji��),��һ�w���OӋ���C�˵;S�o�� 

���������\��,���w��Ӌ��(sh��)ܛ������ȫ�Ŀ�׷��NIST�˜�4-20mAݔ��

����

��Ӱ댧�w���쳬��ˮϵ�y(t��ng)�w��Ӌ��(sh��)�z�y 

���ܣ� 

�y�������ߴ磨μm����0.1,0.2 ϵ�y(t��ng)����>1L/min 

��Ʒ���� 10ml/min, ��Ʒ�����O��30-100psig 

��Դ���ü�����O��