Ultrapure-100��������Ĺ��ϵ�y(t��ng),��Ӌ(j��)��(sh��)��ͨӍ�·��һ��(g��)��(d��)�ص����ٿ���ϵ�y(t��ng),�����еĶ�������һ���ܝM����N��(y��ng)��,��������DI water����S��(n��i)�O(ji��n)�أ�����(g��)ϵ�y(t��ng)�����ٳ��^(gu��)of 1.0 L/min,���@�ӽY(ji��)�����зdz,������ϴ���֏�(f��)�r(sh��)�g�����_������,�������ڄ�(d��ng)�B(t��i)����ډ���. 

Ultrapure-100��һ��(g��)������������ϵ�y(t��ng),���؄e���ڰ��b�򼯳ɵ��F(xi��n)��ϵ�y(t��ng)�С���FMS��facility monitoring system ���� BMS��building management system��,��Ҳ�����x������һ��(g��)��(d��)���Ĝy(c��)ԇ�x��,��߀���S����õļ�������ܛ���� 

���c(di��n)�� 

0.1��0.2μm�Ę�(bi��o)��(zh��n)�w���ߴ�,������0.1��5.0μm������(n��i)���� 

�O�õ��������ƺ̈́�(d��ng)�B(t��i)����ډ����{(di��o)��(ji��)�߂�O����坍�ͻ֏�(f��)�r(sh��)�g 

�����ٱ��C�˿��ٵ���ϴ�r(sh��)�g 

��(y��u)��������{(di��o)��(ji��),��һ�w���O(sh��)Ӌ(j��)���C�˵;S�o(h��)�� 

���������\�࣬�w��Ӌ(j��)��(sh��)ܛ������ȫ�Ŀ�׷��NIST��(bi��o)��(zh��n)4-20mAݔ��

��(y��ng)��

��Ӱ댧(d��o)�w���쳬��ˮϵ�y(t��ng)�w��Ӌ(j��)��(sh��)�z�y(c��) 

���ܣ� 

�y(c��)�������ߴ磨μm����0.1,0.2 ϵ�y(t��ng)����>1L/min 

��Ʒ���� 10ml/min, ��Ʒ�����O(sh��)��30-100psig 

��Դ���ü�����O��