CVD/CHD�ɾ�ʽ��������

��;�� ��ˮ̎��S���༰�������,������Uˮ�����S��ˮ���͡�

���c(di��n)�� 1���ɾ�ʽ�Y(ji��)��(g��u)��춰��b�S�o(h��)���B(y��ng),�����b�F(xi��n)��(ch��ng)���g��С�����֮��ͬ,����ʽ�Q�S���Pʽ�M�S�ɷN��ʽ�ɹ��x��,��

2���~݆�鲻�����ͽY(ji��)��(g��u),��ʹ�����p��ͨ�^(gu��),ʹ�������¶���,�M�bǰ����(j��ng)�^(gu��)��(d��ng)ƽ��У����

3�����w���Q�Sʽ֮���돝�ܾ��O(sh��)���������֮�����w,��횲�ж���ּ����p��������Ｐ����,���ڶ��r(sh��)���B(y��ng),�p�ٹ��ϵęC(j��)��,��

4��ʹ��ȫ���]�L���S��,�ɳ��ܱ��ֹ����r(sh��)���a(ch��n)��֮�S������,��

5�����ÙC(j��)е�ܷ⣬�C(j��)е�ܷ���|(zh��)��SiC-SiC,��