����C������ձ�PVD-N180��,����������̖,��

���٣�155��/��犣�

���ʣ�0.4KW,��

�O����գ�0.67Pa

������������,�����������͵ȵȡ�

�V�����C��O�����޹�˾�����I������

һ,����ձã�

1,��   KIVAC��ձã���/�p������SK-30;DK-30;SK-40;DK-40;SK-60;DK-60�ȡ�

2,��   ULVAC��ձã�VDN301,VDN401,VDN601,VDN901,VSN1501,VSN2401,GLD-N136,GLD-N201,GLD-N280,PVD-N180-1,PVD-N360-1.NB100A,NB300A,NB600A,NB1200A��,��

3��   ULVAC�C���Įa(ch��n)Ʒ��ĤƬ�͸�ʽ��ձ�DA-20D;DA-40S;DA-60D,DA-120S;DA-121D;DA-241S,DAL-5S;DAL-5D;DAL-10S;DAL-181D;DAL-361S;DA-15S;DA-15D;DA-30S;DA-30D;DA-60S;DAT-50D;DAT-100S;DAP-15;DAP-30;DAM-010;MD-4,MD-4C,MD-8,MD-8C��,��ĤƬ�͸�ʽ��ձã�������ͣ�DAU-100;DAU-100H��,��ĤƬ�͸�ʽ�ط�����ձã��͸��g�ͣ�DTC-21/21K;DTC-41/41K��DTC-60;DTC-120�͵�,���u���͸�ʽ��ձ�DVS-321;DVS-631;DVT-300;DSR-150,DSR-300,DSR-500�͵�,������Ƭʽ��ձ�G-5;G-5DA;G-10DA;G-15;G-25SA;G-20DA;G-50SA;G-50DA;G-100S;G-100D;GHD-030;GHD-060;GHD-120;GVD-050A;GVD-101;GVD-136;GVD-166;GVD-201;GLS-051;GLD-051;GLD-101;GLD-136A;GLD-136C;GLD-166;GLD-201A;GLD-201B;GMD-135;GCD-051X;GCD-136X,GCD-201X��;����DOP-9D;DOP-20D,DOP-40S,DOP-40D,DOP-80S;DOP-80SP;DTP-18;DTP-45D,DTP-90S,DTP-90D,DTP-180S,DTP-180SQ;DSB-050;DSP-151;DSB-251;DSB-451,DSB-601;MBS-010,MBS-030,MBS-050�ȡ�

4,��   �ձ�ULVAC�a(ch��n)Ʒ��D-240DK;D-240DK-100;D-330K;D-330DK;D-650K;D-650DK;D-950K;D-950DK;EC403;EC603;EC803;PKS-016;PKS-030;PKS-070;PMB-001C/CM;PMB-003C/CM;PRC-003A;PRC-006A;PRC-012A;PMB-024C/CM;PMB-040B;PMB-060B;F-250;U-250;PBL-02/04/06/10/14/20;ULK-04A/06A/10A/14A;PFL-22/22TM/36/52;��,��

����ULVAC������ձ��������(y��u)�ݹ��������S�ޣ�

    1,��VDN301/401�������,���磺�S�ް�����Ҫ���Q��������~Ƭ����һ�~Ƭ�͵ڶ��~Ƭ,��Ҳ����Ƭ��,���մ��S�У������S�У����ͷ�TCV24408��NBR��,���ڶ��Ś��y��,��“(li��n)�S�����z�K���D(zhu��n)���S,��O��Ȧ(NBR),���ͷ����y��FPM���ȣ�

    2,��VSN1501/2401�������,���磺�S�ް�(��Ҫ���Q���)���~Ƭ��15-1�ȣ�,���S�ף���50,����45�����Ś��yƬ��3צA��4צB�����S��NU208EW,���ͷ�TCV507212��TCV456812(FPM),��O��Ȧ(FPM)���D(zhu��n)���S,��“(li��n)�S�����z�K��,��

    3��GLD-N201/136�������,���磺�דp���װ�,���~Ƭ���ͷ�HTC17-40-9/SC17-30-7/SC15-30-7(NBR),���Ś��y(FPM),��������ֹ�y��O��Ȧ(NBR),���D(zhu��n)���S��“(li��n)�S�����z�K��,��

4,����ձõľS�޷��ա�

5,�����ǻ���“(li��n)�S���p���|M-63/74/84/90/132��

��,����ձ��ͣ����ޔ�(sh��)�����`�������

1,��L-4,R-4����ձ��ͣ�С������Ƭ��,���_�ı��ã�

2,��N62,L-7,R-7����ձ��ͣ����õĴ���������Ƭ����,��

3��SMR-100����ձ���,��

4,��SO-M����ձ��ͣ���ϳ��͡�

5,��SL-68����ձ��ͣ�����C���ã�,��

�ġ���՜y����

    ���Ӌ��ָ�,����(sh��)�@��,��Ҏ(gu��)�ܣ���������,��GP-1S,GP-1G,GP-1000,GP-1000G,GP-1SRY;GP-1GRY;GP-2ARY;GP-2A;GI-TL3;GI-TL3RY;GI-D7;GI-M2;GI-N8;GI-PA;GI-PARY;GM-1000;GM-2001;GP-2002;SW1-N1/N2;SC1-N;ISG1-N;ZDZ-52;ZDZ-52S;ZDZ-52T;54DB�����Ӌ,��WP-01,WP-02,WP-03;ZJ-52T;ZJ-54D��Ҏ(gu��)�ܡ�

�塢���F�^�V����

1,��   KIVACƷ�ƣ�4-15�����ã�OM-6,OM-8��,��

2��   ULVACƷ�ƣ�TMN151,TMN201,TMN401,TM-3,TM-4,NOS4201,NOS1801��,��

3,��   ���F�^�V���Vо��FE151,FE201,FE401,TM-3E,TM-4E�ȡ�

��,����չܵ���

    ���N�ǘ�����ڷ��m,�������“(li��n)�ӹܣ�������Ϲ�,������,�����ɣ����i,�����h(hu��n),�����ۣ��^�ɽ��^,�����ٽ��^,�����{(di��o)ʽ�쎧�w�����y��,���y�T,��늴��y�ȵȡ�

��,���н��OӋ,�����a(ch��n)���N�ǘ��Ś�ϵ�y(t��ng)���Ś�С܇,����հl(f��)������,��

�ˡ��廯�������{(di��o)��������ձã�PVD-180/360-1;PVD-N180/360-1��,�������K�p��������,�����_��ԭ�����ͣ����B��������,��LG�����͵ȵ�,��