FET  �����x�ӹ�����������O(sh��)��

ϵ�y(t��ng)�ɸ����x���b��,����һ����b�ã������x�Ӽ����b��,���o�O�����⾀�b��,���ڶ�����b�ýM�ɣ�̎���^����ѭ��������,���ּ�����,���O(sh��)��������е͝�ȏU�����һ�����O(sh��)��,��Ҳ������ߝ�ȏU��̎�������g�����O(sh��)�䣬����Ч�ʲ�����98%,����(j��ng)��,����ȫ����Ч,�����,��

1�����x�ӳ������g(sh��)

���ý��|(zh��)������ڷ�늼��g(sh��)���ڿ՚���С��40%�r,��1�׷����x�ӝ�ȴ���160�f,�����^�‡������ͬa(ch��n)Ʒ,���h(yu��n)�h(yu��n)���ڇ���(n��i)������ĸ�ܷ�늵�ͬ��O(sh��)��,��

��˾�аl(f��)�Ĵ�����׃�l�߉�늕���늼��g(sh��)����׃���y(t��ng)ģ�K�Y(ji��)��(g��u),���O�󽵵��O(sh��)��ɱ�,�������I(l��ng)�ȣ����x�Ӽ����b���������x�ӝ�ȸ��_(d��)270�f,�������p���|(zh��)���,�����������x�Ӕ�(sh��)�������ߣ����������@������,��

  2�����x�Ӽ��ټ��g(sh��)

 �����x�Ӽ����b����һ헄�(chu��ng)�¼��g(sh��),�������x��Ó�x�l(f��)��ܺ��x�ӵĄ�����u�p��,������Ⱦ��ײ���C�����@�p��,��ײ���ٶ����@���ͣ�ʧȥ��������,��

  �����x�Ӽ��ټ��g(sh��)���ø��l��2540KHz����ʎ���g(sh��),�����ԃ|�������������x�ӵ��\�����ʣ��چ�λ�w�e��(n��i)�����x�ӝ�ȣ��Σ����^�l(f��)��ij�ʼ�A��,�����о��x���ֲ�����x�ӳ�����Ч��,��ͬ�r����˸����x�ӳ��􌦏�(f��)�s�l���Ŀ��ɔ_������

  3΢���o�O�����⾀��⼼�g(sh��)

΢���o�O�����⾀���g(sh��)���ҹ�˾���ش�Ƽ����P(gu��n)�Ŀ,����Ŀǰ����(n��i)�ٔ�(sh��)����΢���o�O�����g(sh��)̎��U��Ĺ�˾,����΢�����l(f��)�ğo�O�����⾀��Ŀǰ���I(y��)��(y��ng)����������⾀�����⾀�������^65mw/cm2,��185nm,��176nm��173nm��154nm���L�����⾀�ڹ��V���_(d��)��14%,����������_(d��)��13eV,����Ѹ��˺����Ⱦ������x�ӎ���늺ɵ������ӈF(tu��n)���ڵ�һ�r�g���ѽ�,���ɞ������������,�����c���߼��������A�Ρ����b��̎�퐺��U��r,�����Ը���(j��)�U���Ħ�����,�����Ƴ����İl(f��)������ͬ�r����(j��)���ú͹��I(y��)��Ҫ���O(sh��)Ӌ�o�O���Ĕ�(sh��)���ͮa(ch��n)��������,�����ϲ��ҷ�ֹ����ʣ���ŷ�,��

  ͬ�r������������ӱ��ѽ⣬���ɳ���,���ڵڶ�����b���M(j��n)һ���͚�����Ⱦ�ﷴ��(y��ng),��

 ϵ�y(t��ng)���@�x�Ӽ����b��չ�_�������b����ǰ�(q��)�����x�ӵļ���վ,�����Ǻ��m(x��)�o�O���ļ��l(f��)Դ,���O(sh��)Ӌ�ƌW(xu��)���Y(ji��)��(g��u)�b��,�������O(sh��)����ò��P䓺�ʯӢ�����M�����͸��Ժ�,��̎���^����Ⱦ��o�κ�������|��ȫ�Ը�ʹ�É����L,��