�����ܹ�˾�Ƴ��ķ��B͸Ĥ�������͉����B͸ĤԪ��,���͉���Ó�}�ʷ��B͸ĤԪ��,������ˮ����ĤԪ�����߉�����ȾĤԪ��,����ˮ����ĤԪ�������ÙC(j��)ĤԪ��������ϵ�н�30��(g��)Ʒ�N,��

���B͸��Ŀǰ��΢��(x��)���^(gu��)�V���g(sh��)�����B͸Ĥ����������ܽ�ğo(w��)�C(j��)�����Լ��κ�����(du��)�����|(zh��)������100���ЙC(j��)��,��ˮ���ӿ�ͨ�^(gu��)��Ĥ�ɞ鼃ˮ,����(du��)ˮ�ж��r(ji��)�x�ӵ�Ó������߿��_(d��)99.5%����(du��)һ�r(ji��)�x�ӵ�Ó����Ҳ��95%���ϡ�

���B͸Ĥ�V����(y��ng)����̫��ˮ,������ˮ,������ˮ���Ƃ䣻 ������켰������a(ch��n)��ˮ,�� �t(y��)ˎ,����ӵ��ИI(y��)��ˮ��ǰ���Ƃ䣻������ˇ��ˮ�ĝ�s,�����x,���ἃ����ˮ�Ƃ䣻 偠t�a(b��)�oˮ�ij��}��ܛ��,�� ��ˮ,������ˮ������ �켈,����,��ӡȾ���ИI(y��)��ˮ����ˮ�����I(y��)�Uˮ�Ļ���,��

�����ܷ��B͸Ĥ��Ҫϵ��

SPϵ�ИO�͉����B͸Ĥ 

PAϵ�г��͉����B͸Ĥ 

ESPAϵ�г��͉����B͸Ĥ     

CPAϵ�п���Ⱦ����ˮ����Ĥ 

HPAϵ�п���Ⱦ����ˮ���B͸Ĥ 

HPA-FRϵ�п���Ⱦ��Ó�}���B͸Ĥ 

HYϵ�м��÷��B͸Ĥ 

 SWϵ�к�ˮ����Ĥ

�����ܹ�˾�Ƴ��ļ{�VĤ����Ó�}�ʷքe��40%,��70%��90%����ϵ�н�10��(g��)Ʒ�N,��

�{�VĤ���ڷ��B͸�ͳ��V֮�g,���׏���1nm���ϣ�һ��1��2nm,����Ҫȥ��һ��(g��)�{�����ҵ����|(zh��)����,����������(du��)�����|(zh��)����200��1000���{�VĤ�ı�����x�Ӟ��늽��|(zh��)����(g��u)�������(du��)�o(w��)�C(j��)�}����һ����Ó����,��һ��{�VĤ��(du��)���r(ji��)�x�ӵ�Ó�����_(d��)90%����,����(du��)һ�r(ji��)�x�ӵ�Ó���ʞ�10��80%��

�{�VĤ��ܛ��,��ȥ����Ȼ�ЙC(j��)��,��ȥ��ˮ�ж��ء�ȥ��ˮ���r(n��ng)ˎ,��ȥ�����u������u����,��ȥ���]�l(f��)���ЙC(j��)�ȥ���ϳ�ϴ�섩,��ȥ�����,��Ó��ɫ�ȣ��߷������|(zh��)�ἃ�ȶ�N�I(l��ng)��õ��V����(y��ng)��,��

��(du��)�ԁ�(l��i)ˮ�M(j��n)����ȃ���,�������ṩ����,����(y��u)�|(zh��)���ˮ��סլ�^(q��)�Ĺܵ����|(zh��)��ˮ,����(du��)�ط��߷�,����Ӳ�ȡ��߽����x�Ӻ����ĵ���ˮ�M(j��n)�����̎��,�����Ƶط���ˮ,���{�VĤ��(y��ng)���ں�ˮ����������ˮ����̎����,�����ڿ����صļ����c��s,�����ĵļ����c��s���켈�Uˮ̎��,���ЙC(j��)�Uˮ̎��,���ؽ���?g��u)Uˮ̎��,��Ⱦ��Ó�}̎��,����ˮ���x����ˮ�����I(y��)�Uˮ�Ļ���,��

�����ܹ�˾�Ƴ��ij��VĤ���������������քe��10�f(w��n),��5�f(w��n)��1�f(w��n),��6ǧ��Ʒ�N,��90��160,��200,��250��Ҏ(gu��)�񹲽�20��(g��)Ʒ�N��

��ͨ���VĤ�Ľ�����������100000����,���ܽ���0.01μm���ϵ�΢��,��ȥ���ЙC(j��)�|(zh��)����(du��)�����(sh��)��ˮ������ˮ,����(j��ng)�^(gu��)���V��SDI�����½���1��3,�����V�܉�100%�����ˮ�еIJ�����΢���

���VĤ��������������|(zh��)�V����(y��ng)���ڵVȪˮ���Ƃ�,�����B͸�O(sh��)����A(y��)̎��,���ԁ�(l��i)ˮ����̎������ˮ�������A(y��)̎��,���Uˮ���õă���̎��,��ȥ��ˮ�е��z�w�ͼ�(x��)�����V����ˎ��ȡҺ�еĴ�������s�|(zh��),�������|(zh��)�Ͷ���,������Ƶ���ˎ�Ƅ�,����(du��)��ˎ��Ч�ɷ��M(j��n)�Н�s���V��ˎҺ��ˮ�ֺ�С�������s�|(zh��),���ͶȰ׾�ȥ�����,�����ơ�ơ�Ƽ�������ľ���,��������֭,���Ƃ��s�裻ᘄ�,����ݔҺ����Դ,����s���wѪ�塣