1,���A��ʽ��(ji��)��,��������������

��ͬ�ڂ��y(t��ng)�����L�C��¶������O(sh��)Ӌ��С���L�C���ڳ��m�����w���ϲ�,���L�C�������ı��o�ښ��w��(n��i)��,�����е��A��ʽ��(ji��)�ܷ�ʽ����PLC��������Ϲܵ�ϵ�y(t��ng)�y�T��ʹ��,�����F(xi��n)�������x�ϵĹ�(ji��)��,��

2����ȼ����,�����ذ�ȫ����

����ľ���ۉm��ȼ�ױ�������,��ľ�����m�����÷��o��b�á�ж���b�á��}�_�������b�õ���Ч�O(sh��)ʩ,�������b����������ϵ�y(t��ng)��鰲ȫ����ʹ��,���_���O(sh��)���L�ڰ�ȫ�\�У��ܵ����b�І�������y,���ܷ�ֹ�ܵ�����,�����C�ܵ�형���

3,����Ч���m,�����m���ص�

���m�����mЧ�ʸ��_99.999%���ŷſڷۉm��ȵ���100mg/m3,�����ڇ����ŷŘ˜�,��

4�������`��,���M��������

���ÑT�Է��x�c�^�V���m��Y(ji��)�ϵ�ԭ��,����̎���ߝ�ȵĻ�Ϛ���������Ч���x5um���µļ�΢����,���ǂ��y(t��ng)���L���x������������a(ch��n)Ʒ,��

���÷������m���������١�ɰ��C,����ЙC,����Ƭ�C����ĥ�C�ȸ��Nľ���Cе�O(sh��)��,�����ÆΙC���m��ϵ�y(t��ng)���m�ķ�������,���ΙC���m��Ҫ���چ��_ľ���Cе���m�������`�������c,��ϵ�y(t��ng)���m����ľ���Cе���a(ch��n)���ij��m,�����н�(j��ng)��������,�����^�����c,���Ȳ�Ӱ����a(ch��n)�������ֿ��_������ij��mЧ��,��