�ʷ��B͸Ĥ��ϴ����

����

����(j��)Ó�}����Ҫ,����(j��ng)�^�������о�ԇ򞣬�Ĵ����ĸ߷��Ӳ����кY�x���˴����w�S�أ�CA���ͷ���������ɴ��Ĥ����,��

����,����(f��)��Ĥ�ı�Ƥ��߀�õ�������һЩ�������,��

�����w�S��

�����w�S���ַQ�����w�S�ػ��w�S�ش�����,�����Ժ��w�S�ص��޻�,��ľ�ĵȞ�ԭ��,����(j��ng)�^������ˮ�ⷴ��(y��ng)�Ƴɴ����w�S�أ��ټӹ��ɷ��B͸Ĥ,��

������

����������֬����������ͷ�����������ɴ��,��20���o(j��)70�����(y��ng)�õ���Ҫ��֬���������,��������—4,������—6������—66Ĥ,��Ŀǰʹ�������Ƿ����������Ĥ��Ĥ���Ϟ鷼���������,�������������—�����Լ�һЩ��������ۺ���,��

�����������Ĥ�m��(y��ng)��pH�������Ԍ���2~11,������ˮ�е����x�Ⱥ�����,��

��(f��)��Ĥ

��(f��)��Ĥ����������Ҫ�����σɷN�����Ƴ�,�������Ժܱ������܌Ӻ����֧�Ό���(f��)�϶���,�����֧�Ό��ַQ��Ĥ,���������C(j��)е���ȵ����ã����܌�Ҳ�Q��Ƥ��,����Ó�}���������ַQÓ�}��,��Ó�}�Ӻ��һ���50nm,����Ğ�30nm��

�Ɇ�һ�����Ƴɵķnj��QĤ�����в���֮̎��

1,�����܌Ӻ�֧�֌�֮�g���ڱ����ܵ��^�Ɍ�,��

2����Ƥ�Ӻ����O�ޞ�100nm,�����yͨ�^�pСĤ��Ƚ����ƄӉ���,��

3,��Ó�}���c͸ˮ�ٶ��໥�Ƽs�����ͬ�N���Ϻ��y���Ó�}��֧�΃��߾���(y��u),��

��(f��)��Ĥ�ܺõؽ�Q���������},�������Էքeᘌ����܌Ӻ�֧�֌ӵ�Ҫ���x��Ó�}���ܺõIJ��Ϻ͙C(j��)е���ȸߵIJ��ϡ��Ķ���(f��)��Ĥ�����܌ӿ������úܱ�,�������ڽ����τӉ���,��ͬ�r�������^�Ʌ^(q��)�����������ܺ�,��

��Ĥ�IJ�������������ձ�,����Ξ�۱�ϩ���۱�ϩ�����������r���׵�,����Ĥ����,���C(j��)е���Ⱥã����������ܺ�,�����W(xu��)���ܷ�(w��n)��,���o�����ܿ����ｵ��,��

���M(j��n)һ���������֧�Όӵď���,�����þ����o������

Ó�}�ӵIJ�����Ҫ�鷼�������,������߀���������,����ϩ-����������c�s�����ء������c���u�һ���������,���g�������c��������������,��

����ԭ��

��͸�^�����|(zh��)�����x���Եı�Ĥ�Q���͸Ĥ��һ�㌢ֻ��͸�^�܄�������͸�^���|(zh��)�ı�Ĥ�Q֮�������͸Ĥ,����(d��ng)����ͬ�w�e��ϡ��Һ(���絭ˮ)�͝���Һ(�����}ˮ)�քe���ڰ�͸Ĥ�ăɂ�(c��)�r,��ϡ��Һ�е��܄�����Ȼ���^��͸Ĥ���԰l(f��)�������Һһ��(c��)���ӣ��@һ�F(xi��n)��Q��B͸,����(d��ng)�B͸�_(d��)��ƽ��r,������Һ��(c��)��Һ�����ϡ��Һ��Һ��߳�һ���߶ȣ����γ�һ������,���ˉ����B͸��,���B͸���Ĵ�Сȡ�Q����Һ�Ĺ������|(zh��)�����c����Һ�ķN�,����Ⱥ͜ض����P(gu��n)���c��͸Ĥ�����|(zh��)�o�P(gu��n),�����ڝ���Һһ��(c��)ʩ��һ�����ڝB͸���ĉ����r���܄������ӷ���?q��)��cԭ���ĝB͸�����෴,���_ʼ�ĝ���Һ��ϡ��Һһ��(c��)����,���@һ�^�̷Q�鷴�B͸,�� ���B͸�ǝB͸��һ�N�����w���\�ӣ���һ�N�ډ����(q��)����,�������ڰ�͸Ĥ���x��������Ì���Һ�е����|(zh��)�c�܄����_�ķ��x����,�����яV����(y��ng)���ڸ��NҺ�w���ἃ�c��s���������ձ�đ�(y��ng)�Ì���������ˮ̎����ˇ��,���÷��B͸���g(sh��)��ԭˮ�еğo�C(j��)�x��,����(x��)��������,���ЙC(j��)�Ｐ�z�w���s�|(zh��)ȥ��,���ԫ@�ø��|(zh��)���ļ���ˮ��

����ָ��(bi��o)

�}��

Ó�}��=��1–�a(ch��n)ˮ���}��/�M(j��n)ˮ���}����×100%

ĤԪ����Ó�}������������Εr���Ѵ_��,��Ó�}�ʵĸߵ�ȡ�Q��ĤԪ�����泬��Ó�}�ӵ����ܶ�,��Ó�}��Խ����Ó�}��Խ�ߣ�ͬ�r�a(ch��n)ˮ��Խ��,�����B͸����ͬ���|(zh��)��Ó�}����Ҫ�����|(zh��)�ĽY(ji��)��(g��u)�ͷ������Q��,�����߃r�x�Ӽ���(f��)�s�΃r�x�ӵ�Ó�}�ʿ��Գ��^99%�����΃r�x���磺�c�x��,����x�ӡ����x�ӵ�Ó�}���Ե�,����Ҳ�ɳ��^��98%��Ĥʹ�Õr�gԽ�L,�����W(xu��)��ϴ�Δ�(sh��)Խ�࣬���B͸ĤÓ�}��Խ��,����,��������������100���ЙC(j��)��Ó����Ҳ���^��98%������������С��100���ЙC(j��)��Ó�����^��,��

͸�^�ٶ�

ˮͨ��——ָ���B͸ϵ�y(t��ng)�Įa(ch��n)ˮ����,������λ�r�g��(n��i)͸�^Ĥˮ����ͨ���Ç�/С�r��Ӂ�/�����ʾ,��

�}͸�^�ٶ�——�چ�λ�r�g,����λĤ��e��͸�^���}����Ҳ��͸�}��,���}ͨ��,��

������

������——ָĤϵ�y(t��ng)�нoˮ�D(zhu��n)���ɞ�a(ch��n)ˮ��͸�^Һ�İٷֱȡ�����(j��)�A(y��)̎�����M(j��n)ˮˮ�|(zh��)����ˮҪ�������,��Ĥϵ�y(t��ng)�Ļ��������O(sh��)Ӌ�r���ѽ�(j��ng)�_��,��

������=���a(ch��n)ˮ����/�M(j��n)ˮ������×100%