��һ����ľ�ļӹ��S�VͲ���m����(du��)���y(t��ng)���m����(du��)����(x��)�ۉm�ռ��y���^�V�L(f��ng)�ٸ�,�����Ч����V����ĥ�p��©,���\(y��n)�гɱ�����ȱ�c(di��n)�M(j��n)���˸��õĸ��M(j��n)�ɞ����I(y��)���m���l(f��)չ���·���.

ľ�ļӹ��S�VͲ���m�������c(di��n)��(y��u)��

1.�������㡢��ȫ�ɿ�����������(d��ng)������Ұѳփx,�����m��������ɰѳ�,��ʹ�����m���ډ����ڃ�(n��i)�����Ժܸ�Ч�ʹ�����

2.��(y��ng)���I(l��ng)��V��ľ�ļӹ��S�VͲ���m������(x��)�w�S�ӽ�Q�˳���(x��)�ۉm,���w�S�Էۉm�y��̎���ȸ���y�},����ˮ�ԞV��ʹ�ó���ۉm��ճ�V�ϣ��O�״���,������ص׽�Q�˳���ۉm�Y(ji��)¶ճ�ϵĆ��}��

3.��(ji��)ʡ���g���V���ۯBʽ����ɢ��.

4.���mЧ�ʸߣ�ľ�ļӹ��S�VͲ���m������ͨ�V����,���ٻ\��һ�ӳ���(x��)�w�S��,��ʹ�^�VЧ�����˱�ɫ���M(j��n)����0.5μm���������ۉm�ռ������_(d��)��99.9%,��

 5.��(ji��)�ܽ��ģ����^�V�ۉm�Hͣ���ڞV�ϳ���(x��)�w�S�ӵ����,�����Դ��p�����^�V��������(ji��)��Ч�����@,��

ľ�ļӹ��S�VͲ���m�����m�÷���

�VͲ���m����Ҫ���ڻ���,���t(y��)ˎ��䓏S,��늏S,��̼�ء�ĥ��,��ľ��,��ұ�����C(j��)е�ӹ�,�����ϻ���,���Zʳ�ӹ����t(y��)ˎ���a(ch��n),��ʳƷ���a(ch��n),�������\(y��n)ݔ�����x���и�,�����ӟ��m,���T����ИI(y��)��

�V���оG�ӭh(hu��n)���O(sh��)�����޹�˾