1,���������m����һ�N��(du��)���ӟ��m�����I(y��)�U��ۉm̎�����O(sh��)Ӌ(j��)�Ŀ՚�����b��,���Y(ji��)��(g��u)���f(w��n)�����m��,����Ч��Ĥ���m�Vо,������̿�^(gu��)�V������(zhu��n)�õ������x���L(f��ng)�C(j��)���|��ʽ΢��X�������ȽM�ɵ�һ��(g��)�����Ŀ՚����ϵ�y(t��ng)����ͬ�^(gu��)�V���ܵĽM��,�����m��(y��ng)��ͬ��(ch��ng)���Ŀ՚����,�������m���������������m���Y(ji��)��(g��u)����,����������,��ʹ���`��f(w��n)�����m�ܿ���������,�������Ƅ�(d��ng),������Ƅ�(d��ng)ʽ���w�̶ܹ������ⷽλ,����ʹ���m��ֱ�����������mԴ������(du��)���m�U���M(j��n)����Ч������̎�����V����(y��ng)���ڙC(j��)е,�����,����������,�����,������������,����ˎ,��ʳƷ��������ИI(y��)�������П��m,���ۉm��Ⱦ�Ĉ�(ch��ng)��,�� 
2���������m������ԭ�������m�U�����L(f��ng)�C(j��)ؓ(f��)�����L(f��ng)ͨ�^(gu��)���m�ܵ���������������m�������w��(n��i)��������,�����������c���К���,�����w�����m�����ڵײ����m����(n��i)��΢�����m�ɸ�Ĥ�Vо�����������,���ɻ���̿�^(gu��)�V��ȥ���к����w,���������w��(j��ng)�^(gu��)�����^(gu��)�V�ֽ������ij��L(f��ng)���ų��� 
3,��,���������m���a(ch��n)Ʒ���c(di��n)�� 
1�����ÿɻ��(d��ng)���f(w��n)�����m�ܣ�����������,�������{(di��o)�����mλ��,����Դ�^�_(k��i)ʼ��Ч������m�� 
2 ��һ�w���ĸ�Ч������Ĥ���m�Vо,����΢�׼�(j��)���m�^(gu��)�V,����(du��)���m���ۉm��0.3-0.5μm�����^(gu��)�VЧ�ʿ��_(d��)99.5%����,���^(gu��)�VЧ�ʸ�,��ʹ�É����L(zh��ng)�� 
3 ���ɸ���(j��)���m���|(zh��)�x������(y��ng)���^(gu��)�Vý��,���ԝM�㲻ͬ���|(zh��)���m�ă���̎��,���绯�W(xu��)���|(zh��)�ğ��m���û���̿�^(gu��)�V�����o�Ҫ��IJ����o������^(gu��)�V��,�� 
4 ���Y(ji��)��(g��u)�o��,���w�e�p�ɣ��Ƅ�(d��ng)�`��Vо��ϴ���Q����,���������w�Y(ji��)��(g��u)Ҳ�ɶ���,��