����ԭ��
1.�����Юa(ch��n)���ğ��m�����������럟�m��������,������ͨ�^�������ĵ�һ�����W(w��ng),���Ɍ����w�����ĥ�a(ch��n)���Ļ����w���M(j��n)�з��x�����������^�V�Ŀ՚����M(j��n)��ڶ��ӞVо���o(h��)��,�����o(h��)�匦���M(j��n)�з��������⚈������ֱ���M(j��n)�����^�Vо,��������ĺ��m���w���M(j��n)����������^�Vо�M(j��n)�нK�O���������^�Vо���^�VЧ�����_(d��)99.9%,���������^�Vо�ĸ�Ч�^�V���ȿ��_(d��)���҃�(n��i)�ŷŘ�(bi��o)��(zh��n),���^�V��ĸɃ��՚�ͨ�^�������·����L(f��ng)��ֱ���ŵ��҃�(n��i)ѭ�h(hu��n)��
2.�Ƅ�(d��ng)ʽ���ӟ��m���������Ãɸ������,���ײ�����2��(g��)����,��2��(g��)�f�򎧄x܇�b�õľ۰�֬�_݆�������Ƅ�(d��ng)���ӹ�λ,������ۿ�360��������ͣ,��ͨ�^����(d��ng)�������ϵ��ֱ�,�����`���p���S�����ߵ���Ը���_(d��)Ŀ��λ���c(di��n)�����m����Ƕȣ����ڟo�������������п��ж�λ,�����x��2m,3m���������,������ܛ�ܲ����������͜ء���ȼ,����ĥ��(f��)�ϲ���,������(hu��)����Ǵ����_�ѣ�ʹ�É������L,���۹�ֱ����150mm.

�Y(ji��)��(g��u)���c(di��n)
1, Դ�^�������g(sh��)�����m�U����ռ��ʸ��_(d��)99.99%����,������܇�g�՚�����Ⱦ,��U(ku��)ɢ,��
2, �߾����^�V���g(sh��)�������^�V,���^�V�������M(j��n)�ڞVо,ʹ�É����L,��≥0.3μm���m�w���ă���Ч�ʸ��_(d��)99.97%��
3, ������������,��360°�S����(d��ng),ᘌ���Ⱦ�a(ch��n)��Դ�^,����ռ���,ͬ�r(sh��)���ڿ�������λ�úͽǶȑ�ͣ,��Ӱ푄ڄ�(d��ng)�����I(y��),��
4, �M(j��n)��늙C(j��)���L(f��ng)�C(j��),��(d��)�ص��L(f��ng)·�O(sh��)Ӌ(j��),�L(f��ng)���,������,��Դ����С��
5, �O(sh��)��ײ������f��݆,���S���Ƅ�(d��ng),ʹ�ù�������,��
6, ���I(y��)���뼼�g(sh��),�O(sh��)������С,��
7, ��������,�Y(ji��)��(g��u)��(y��n)֔(j��n),��ȫ���ܸߡ�

��(y��ng)�÷���

�V�����ڸ��N����,������,���и��ĥ�ȹ����Юa(ch��n)�����m�ͷۉm�ă����Լ���ϡ�н���,���F�����ϵĻ��յ�

�m���ڷۉm�����Ƿdz�����g���^�MС�Ĺ�λ,����Ч���ÿ��g.