HVA 13000ϵ����Ռ�������l�y

�Ϻ����|���� HVA 13000ϵ�Ќ����l�y����l�y��һ�������˿��������, �@�ӿ�����Ч�ďĚ������ܷ��y���b��(g��u). �����~��ı��o(h��),���y�w�ϲ����²����а��b������ϴ������ʹ���Ԛ��w�������ֹ���I(y��)�U���M(j��n)���@Щ�ط�. ��һ�����c����һ��������P(gu��n)�]�b��ʹ�@������y�T����l�y���Ա����ܷ��������, ���������������S�������½����pʧ�ĕr��.

�ɂ����_��֧�ܿ��Ԍ��F(xi��n)100%늌�(d��o)��ȫ�_������0%늌�(d��o)��ȫ�P(gu��n)��. �ڴ��_��λ��,һ�����׏�����·�̺����Ѓ�(n��i)�������Ǹ��x�_�ġ��@���׿��ṩ��һ��ͨ�^�l(f��)�����坍���B�m(x��)������·�̲��Ҝp���˺��κ�һ���y�w�b�õĹ��I(y��)�U����|. �P(gu��n)�]λ��ʹ��һ�����y(t��ng)���ܷ��zȦ�Ԯa(ch��n)��1x10E-9Torr������ܷ�. �����(q��)�����Sʹ�ú��Ӳ��y�܁��ܷ��(q��)�������Ҝp�����D(zhu��n)�ܷ�Ȧ�ı�Ҫ��,�����صĚ���O(sh��)Ӌʹ�_������Ӝp�ٵ���С. ���O(sh��)Ӌ�dz������ڰ댧(d��o)�w������������мӹ����I(y��)Ҫ������r����������ӵ�.

�@��HVA ���P��y�T����l�y�ṩ�˵ĘI(y��)����С�Ľӿ�. �y�w��������Ҫ��(n��i)��������1100 ��, 1x10E-6Torr����ՠt�к��ӵ�, �_��������������. �@�͜p���ڂ��y(t��ng)�ĺ��Ӳ��y���y�T��l(f��)�F(xi��n)��̓©��ȱ����. �ڱ��B(y��ng)����, ֧�ܲ��ֿ��Բ�������ð�����l�y������ϵ�y(t��ng)�в�ж����,��

 

13000ϵ�Ќ�������l�y�a(ch��n)Ʒ���c

1. ����(q��)��

2. ���P䓺��Ӳ��y��

3. ��(bi��o)��(zh��n)���߶��Ʒ��m

4. 늴��y���Ʋ������քӳ���

 

13000ϵ�Ќ�������l�y�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��

�B����ʽ��	��(bi��o)��(zh��n)���Ʒ��m
���w���ϣ�	���P�
���Qͨ����	DN40-DN300 mm
©��:	2x10E-10 AtmCC/Sec
��������:	1x10E-9 Torr
�濾�ض�:	��200��
�m�ý��|(zh��)��	ˮ������,���՚�,���߸��g���w
�ܷ���ʽ��	ܛ�ܷ���
�(q��)�ӷ�ʽ��	���
ʹ�É���:	ҕϵ�y(t��ng)����

 

13000ϵ�Ќ�������l�y�a(ch��n)Ʒ��(y��ng)��

�����l�y����l�y���������g��,���W(xu��)�������e������Ҫ�ø߸��g���w,���ܓp�������y�T�ļӹ��С���(bi��o)��(zh��n)����y�T����l�y�����ܳ��ܲ���Ĺ��I(y��)�U������. �V���İ댧(d��o)�w��(y��ng)���ѽ�(j��ng)�C���@Щ������y�T����l�y���^�̹�ˇϵ�y(t��ng)��һ�P���Fؔ��.

 

13000ϵ�Ќ�������l�y�a(ch��n)Ʒ�����D

Ո“(li��n)�j(lu��)�Ϻ����|��Ůʿ,���֙C(j��)134