������ʽ�^(gu��)�V��һ�N�Y(ji��)��(g��u)�·f,���w�eС��������(ji��n)���`��,����(ji��)��,����Ч�����]����,���m���ԏ�(qi��ng)�Ķ���;�^(gu��)�V�O(sh��)��,����ʽ�^(gu��)�V����һ�N���͵��^(gu��)�Vϵ�y(t��ng)����ʽ�^(gu��)�V����(n��i)���ɽ��پW(w��ng)�@֧�ΞV��,��Һ�w��������M(j��n),����(j��ng)�V���^(gu��)�V��ij����������s�|(zh��)�r���ڞV����,�����Q�V������^�m(x��)ʹ��,��

�����Y(ji��)��(g��u)������ԭ��:��ʽ�^(gu��)�V�C(j��)��һ�N����ʽ�^(gu��)�V�b�ã���Ҫ���^(gu��)�VͲ�w,���^(gu��)�VͲ�w�Ϳ��_(k��i)�C(j��)��(g��u),�����P䓞V���ӏ�(qi��ng)�W(w��ng)����Ҫ�����M�ɣ��VҺ���^(gu��)�V�C(j��)�⚤���Ԃ�(c��)��ڹ�����V��,���V���������b���ڼӏ�(qi��ng)�W(w��ng)�@��(n��i),��Һ�w�B͸�^(gu��)����Ҫ��(x��)�ȵȼ�(j��)�ĞV�����ܫ@�úϸ�ĞVҺ,���s�|(zh��)�w�����V���r�ء�ԓ�C(j��)���Q�V��ʮ�ַ���,���^(gu��)�V�����o(w��)��������,��

������ʽ�^(gu��)�V���߂䘋(g��u)��������ܷ��Ժ�,����ͨ���܏�(qi��ng),��������(ji��n)����T���L(zh��ng)̎�������ǞV����(c��)©�C(j��)��С,�������_�ر����^(gu��)�V����,�����ܿ�ݵظēQ�V����ʹ�ò����ɱ��½�,���V����(n��i)������ȡ�C(j��)е��ɰ�����Q,��ƽ��������ϴ,���҂�֪��,����ʽ�^(gu��)�V������ȡ���^(gu��)�V�����ǂ�(c��)�M(j��n)��(c��)���ķ�����Ҳ���Բ�ȡ��(c��)�M(j��n)�׳��ķ���,��ͨ�^(gu��)�ܵ��еĉ������^(gu��)�VҺ�w���|(zh��)���������ʽ�^(gu��)�V��Ͱ�w,��Ҫ�^(gu��)�V��Һ�w���|(zh��)��(j��ng)��늒���_��֧�֞V�{(l��n)���е��^(gu��)�V�����^(gu��)�V���l(f��)��׃���Ĺ�Һ�քe���_(d��)Һ�w���|(zh��)���^(gu��)�V�ĽY(ji��)��,��

������������(sh��)

����ԭ�����Ӊ��^(gu��)�V

������;��Һ�w�^(gu��)�V

������ʽ����ʽ

�������ܣ����V

�����m�Ì�(du��)�󣺹�Һ���x

�����m�Ì�(du��)�����|(zh��)�����l(w��i)��Ҫ������

�����V����ͣ�ᘴ̟o(w��)����

�������w���|(zh��)���L(zh��ng)�w�S�o(w��)����

�����m�÷���������,����ˎ����܇(ch��),���p��,��ʳƷ���僵��ИI(y��)

������Ҫ���c(di��n)

����1.�V����(c��)©�C(j��)��С,�������ر��C���^(gu��)�VƷ�|(zh��),��

����2.��ʽ�^(gu��)�V�ɳ��d����Ĺ������������pС,���\(y��n)���M(f��i)�õ�,����(ji��)��Ч�����@��

����3.�V���^(gu��)�V���Ȳ������,�����_(d��)��0.5μm,��

����4.��ʽ�^(gu��)�V̎�������w�eС,����������,��

����5.���ڴ�ʽ�^(gu��)�Vϵ�y(t��ng)�Ĺ���ԭ���ͽY(ji��)��(g��u)�����Q�V���r(sh��)�����ݣ������^(gu��)�V�C(j��)����ϴ,��ʡ��ʡ�r(sh��),��

����6.�^(gu��)�V���V����ϴ��ɷ���(f��)ʹ�á���(ji��)�s�ɱ�,��

����7.��ʽ�^(gu��)�V��(y��ng)�÷����V,��ʹ���`����b��ʽ����,��