�V�IJ����w�S�^�V��,������̿�;����^�V����,���_(d��)������޶ȵ����F�^�V�ͻ���,�������^�VЧ���á��L(f��ng)��С�����c(di��n),��

���÷ּ�(j��)�^�V�����F������99.99%�����C(j��)�V�ľS�o(h��)����,���ɶ������������Q�^�V����,��

���C(j��)��(n��i)���M(j��n)���R�_(d��)늙C(j��),������С�����ʸ�,���_���O(sh��)�䰲ȫ��(w��n)���\(y��n)��,��

���F�к�����“(li��n)�����к��ɷ֣��p�����w����,��0.3΢���w����(du��)�����wӰ푺ܴ�,���L�ڹ��r�h(hu��n)������������F�ѷe��Ӱ푹����M(j��n)��

 �͟����F�߾��ȃ����� ��•����ϴ�C(j��)�^�V �۽Y(ji��)���x���s�|(zh��)�V����

���F�ռ����Vо���c(di��n)��

1�������F�����^�V�ޣ�һ��(j��)�^�V10΢���������F,������(j��)�^�V2΢���������F,������(j��)����0.3΢���������F�����ɼӹ��������ηǘ�(bi��o)�a(ch��n)Ʒ,��

2 ���^�ɸ���(j��)�͑���Ҫ�����ɫ����,������

3 �M(j��n)��늙C(j��)�R�_(d��)����С����Ч��

���F���տ՚�����C(j��)

��һ�� �����^�V�� �ڶ��� ��֬���z�W(w��ng)

�^�Vˮ�F����≥10um  �^�V���F����≥3um ��ϴ����,�������؏�(f��)ʹ��,��

�A�θ�Ч�ܾ���ˮ�Է��x��,�A�θ�Ч�ܾ������L(f��ng)���x����

�O(sh��)Ӌ(j��)��(y��u)��

�\(y��n)�����M(j��n)�Ŀ՚�������g(sh��),���ɹ��аl(f��),�������^�V���F,����,�����z������,���^�Vϵ�y(t��ng)�O(sh��)Ӌ(j��)�_(d��)���W�ޘ�(bi��o)��(zh��n),���a(ch��n)Ʒ���д��L(f��ng)�������迹,���͜�,������A����ɫ,�����^�VЧ�ʸ��_(d��)99%-99.97%���_(d��)��E11.E12��(bi��o)��(zh��n),��