�t(y��)ˎ�����^�V������ԭ��

���Ĺ���ԭ��������pp�Vо��С��5um�Ŀ�϶�M(j��n)�ЙC(j��)е�^�V,��ˮ�|(zh��)�К�����΢���Ҹ���,���z�w��΢�����,���������������������ڞVо����Ŀ�϶��(d��ng)��,���S����ˮ�ĕr�g׃�L���Vо������������Ⱦ��ԭ��,��������\(y��n)�е���������,����(d��ng)�\(y��n)�����M(j��n)����ˮ�����_(d��)��0.1mpa�r������Ҫ���Q�Vо,��

�t(y��)ˎ�����^�V����(y��ng)�I(l��ng)��

1.ݔҺ��ˎ��ˮ,��������ƷѪ�{���܄��^�V,��CIP�^�V,���l(f��)�͹��M(j��n)���Լ�β��������^�V��

2.�t(y��)ˎᘄ�,����ݔҺ,������Һ���в�ˎˎҺ�^�V�ȵȣ�������Ƅ���ȡ,���ἃ,����s��

3.�o��ˮ,���ڷ�Һ,����ݔҺ��ᘄ��ȵ���ˮ̎��,��

4.���N�t(y��)ˎԭ��,���܄����^�V��

5.�֏�(f��)���ԭ��,���߻���,���p��̼���^�Vˎ���ǝ{,��ֲ�ﾫ�A�^�V��,���^�VPHֵ�{(di��o)��Һ��Һ���V•,��

6.��ˎ�Uˮ�Ĵ֞V̎��,��

7.���ջ���ԭ�ϣ��߻���,��

8.ȥ������̿,��

9.�^�Vˎ���ǝ{��

10.ֲ����ȡҺ���^�V,��

11.�Y(ji��)��Һ���A(y��)�^�V̎��,��

�t(y��)ˎ�����^�V�������c(di��n)

1.��Ч��ȥ��ˮ�����F,�����w�w��,���܉�100%��ȥ��0.01um���ϵ��w�������F�ĝ�ȿ�����0.01ppm/wt֮��(n��i),��

2.�O(sh��)��ĽY(ji��)��(g��u)����,���w�eС�������p,��

3.�����x���з��o(h��)�����z�⚤�c�X�Ͻ��⚤��

4.�����ֶεă���̎����ʽ,���O(sh��)���ʹ�É����L,��

�t(y��)ˎ�����^�V��������

1.�^�V�ľ��ȸߣ��Vо�Ŀ׏�����,��

2.�^�V�r����С,��ͨ���󣬽��۵�������(qi��ng)��ʹ�É����L,��

3.�Vо���ϵĝ����ȸ�,�����^�V�Ľ��|(zh��)����������Ⱦ��

4.�V��������,���͉A�Ȼ��W(xu��)�܄�,��

5.�V���ď�(qi��ng)�ȴ󣬿��͸ߜض��Vо����׃��,��

6.�O(sh��)��ijɱ���,���\(y��n)�Еr�M(f��i)�õͣ�����ϴ,���Vо�����S�r���Q,��