��ʽ�^�V�C(j��)��һ�N����ʽ�^�V�b��,����Ҫ���^�VͲ�w���^�VͲ�w�Ϳ��_�C(j��)��(g��u),�����P䓞V���ӏ�(qi��ng)�W(w��ng)����Ҫ�����M��,���VҺ���^�V�C(j��)�⚤���Ԃ�(c��)��ڹ�����V�����V�����b���ڼӏ�(qi��ng)�W(w��ng)�@��(n��i)��Һ�w�B͸�^����Ҫ��(x��)�ȵȼ�(j��)�ĞV�����ܫ@�úϸ�ĞVҺ,���w���s�|(zh��)���V���r��,��ԓ�C(j��)���Q�V��ʮ�ַ��㣬�^�V�����o��������,��

��ʽ�^�V���߂䘋(g��u)�����,���ܷ��Ժá���ͨ���܏�(qi��ng),������������T���L̎,�������ǞV����(c��)©�C(j��)��С�������_�ر����^�V����,�����ܿ�ݵظēQ�V��,��ʹ�ò����ɱ��½����V����(n��i)������ȡ�C(j��)е��ɰ�����Q,��ƽ��,������ϴ���҂�֪��,����ʽ�^�V������ȡ���^�V�����ǂ�(c��)�M(j��n)��(c��)���ķ���,��Ҳ���Բ�ȡ��(c��)�M(j��n)�׳��ķ�����ͨ�^�ܵ��еĉ������^�VҺ�w���|(zh��)���������ʽ�^�V��Ͱ�w,��Ҫ�^�V��Һ�w���|(zh��)��(j��ng)�^�V�����^�V,���l(f��)��׃���Ĺ�Һ�w�����x��

��(y��u)�c(di��n)���c(di��n)��

♦�V����(c��)©�C(j��)��С,����Ч�ر��C���^�VƷ�|(zh��),��

♦��ʽ�^�V�ɳ��d����Ĺ������������pС,���\(y��n)���M(f��i)�õ�,����(ji��)��Ч�����@��

♦�V���^�V���Ȳ������,�����_(d��)��0.5μm,��

♦��ʽ�^�V̎�������w�eС,����������,��

♦���ڴ�ʽ�^�Vϵ�y(t��ng)�Ĺ���ԭ���ͽY(ji��)��(g��u),�����Q�V���r(sh��)������,�������^�V�C(j��)����ϴ��ʡ��ʡ�r(sh��),��

♦�^�V���V����ϴ��ɷ���(f��)ʹ��,����(ji��)�s�ɱ���

♦��ʽ�^�V��(y��ng)�÷����V��ʹ���`��,�����b��ʽ����,��