�x����B

AAS6000ϵ��ԭ�����շֹ���Ӌ����Ӌ��C�̓�(n��i)��CPUоƬ�M�й��ܿ��ƺ͔�(sh��)��(j��)̎���Ćι����x��,�����ڜy�����N���|(zh��)�еij���,��΢������������Ԫ�غͰ����Ԫ�صĺ���,��

ԭ�����չ��V�����������û��B(t��i)ԭ�ӌ��������L�a(ch��n)�����յĬF(xi��n)���һ�N�y������,��ԭ��ͨ��̎�ڻ��B(t��i)������ÿ�NԪ��,����ԭ�ӵĻ��B(t��i)�S�w�����l(f��)�B(t��i)����������һ����,���@�N�ض��������Q�������V������ԭ�����չ��V����,�����ÿ���ꎘO�������Դ,���l(f��)��ijһԪ���������L��ͨ�^ԓԪ��ԭ�������Ժ�,��ԭ�����⌦ԓ�������L��a(ch��n)������,������(j��)������ճ̶�Ӌ��Ԫ��ԭ�ӝ�ȡ�

�������c

�x���������,�����,���l(f��)�䏊�ȵĜy���ṩ���B�m(x��)�����ֺͷ�����N�x��(sh��)��ʽ,������ԭ������,���������պͿ۱����������N��̖��ʽ���e�֕r�g��0.5����99�����x,���x���а˂�Ӌ��C�ɿصĿ���ꎘO����,���x���ĸ��N�����l���磺��̖�������,��ؓ(f��)�߉�,���������L���M�p,��ȼ����λ��,���c��/Ϩ��ȼ�����{(di��o)���������l�����O(sh��)������ܛ������,�������Ԅ�����/�Ԅ��{(di��o)��,������У���������Ԅ�ƽ��,���Ԅ��ҷ�/���L����,������ֵ�z����ʽ�Ԅ��ҷ�ȹ��ܡ������x��(sh��),���y���Y(ji��)��,��У�������Ͳ����l�����Ƀ�����ɴ�ӡ�C���,��

���g(sh��)ָ��(bi��o)

��̖��AAS6000
�ֹ�Ӌϵ�y(t��ng)��ȫ�����͆ι���CT�͹�·
��ɫ�����ࣺ350mm 
����Wҫ���L��230nm
��ž���(sh��)��1800g/mm 
���L������190nm-900nm
���L��(zh��n)�_�ȣ�±0.25nm 
���L�؏�(f��)�ԣ�0.1nm
���V������0.1/0.2/0.4/0.7/1.4 nm 
��•�� 0.004 Abs(�o�B(t��i)); 0.005 Abs(�ӑB(t��i))
����Ư�ƣ� 0.005Abs/0.5h
�۱�����ʽ��뮟�
���Ĕ�(sh��)Ŀ��8��
�A(y��)��􂀔�(sh��)����ܛ������≤8�� 
ԭ�ӻ���������ԭ�ӻ���

��(bi��o)��(zh��n)����

��ɫ��
��늱�����
�|(zh��)������������
����ꎘO��
ȼ���^
�F����
�F����
�·����ϵ�y(t��ng)

��(y��ng)���I(l��ng)��

���|(zh��)���V�a(ch��n),��ұ�𹤘I(y��)����,����F��������ɫ���ٷ���
�h(hu��n)������,���՚����,��ˮ�|(zh��)��������������
ʯ�ͻ������p���a(ch��n)Ʒ����,��ԭ�ͼ���ӹ��a(ch��n)Ʒ�ķ���,�������p���a(ch��n)Ʒ����
ʳƷ�����������t(y��)ˎ,������Ʒ�����͟o�����r(n��ng)�a(ch��n)Ʒ����Ϸ���