�մ�Ĥ�ǟo�C(j��)Ĥ�е�һ�N,������Ĥ���x���g(sh��)�еĹ��wĤ����,����Ҫ�Բ�ͬҎ(gu��)��������X�������,������⁺�������ȟo�C(j��)�մɲ�������֧���w,����(j��ng)����ͿĤ���ߜ�?z��)��ƶ���,����Ʒ�����մ�Ĥͨ���������ӽY(ji��)��(g��u)(���֧�Ό�,���^�ɌӼ����x��)���ʷnj��Q�ֲ�,����׏�Ҏ(gu��)��0.8nm~1��m����,���^�V���Ⱥ��w΢�V,�����V���{�V���e,����(j��)�ϲ��{���＼�g(sh��)���޹�˾�nj��I(y��)���a(ch��n)�մ�Ĥ���մ�Ĥ���x�O(sh��)��ďS��,��������������a(ch��n)��(j��ng)򞲢�ܵ��͑��f��һ�º��u��

�մ�Ĥ�^�V���C(j��)�a(ch��n)Ʒ����(sh��)��

ѭ�h(hu��n)�w�eС����0.2L             ��������������0.4MPa

�m��(y��ng)�����ضȣ�5��55��   �ÙC(j��)���ʣ�350W

�O(sh��)��Ҏ(gu��)��500���L����450��������480���ߣ�mm

�մ�Ĥ�M����Ԫ����

�մ�Ĥ�M��Ҏ(gu��)�� ��45��L312 

�մ�ĤԪ���׏���20nm    50nm     100nm   200nm 500nm   800nm  1200nm  1400nm

�մ�ĤԪ���^�V��e��0.08M2

��˾��B��

    ɽ�|���{����Ƽ����F(tu��n)���޹�˾,�������ڝ�(j��)�ϸ��¼��g(sh��)�a(ch��n)�I(y��)�@,����һ�Ҍ��I(y��)���a(ch��n)��(j��ng)�I���x�������ϡ�������ȡ����,��ɫ�V����,��ɫ�V����������ȡ��,��Ĥ�^�V���x�O(sh��)�估���P(gu��n)���g(sh��)����(w��)�ĸ��¼��g(sh��)��I(y��),���a(ch��n)Ʒ��Ҫ��(y��ng)������ˎ�����＼�g(sh��),��ʳƷ,���h(hu��n)�����r(n��ng)�I(y��)���I(l��ng)�򡣑{���^Ӳ�Įa(ch��n)Ʒ�͵ķ���(w��),�����{�����c�V��͑��������L�ڷ�(w��n)���đ�(zh��n)�Ժ����P(gu��n)ϵ,���õ����������T���P(gu��n)�Ѻ�����֧�֡�

       ���x�P(gu��n)ע�҂��Įa(ch��n)Ʒ,����������҂����մ�Ĥ�^�V���C(j��)���dȤ,���gӭ�S�r�c�҂�?n��i)����?li��n)ϵ��