�����a(ch��n)Ʒ��������

����(gu��)ALICAT 11ϵ�л������|(zh��)������������������(gu��)ALICAT 11ϵ�И�(bi��o)��(zh��n)���|(zh��)������������,�����Ã�(n��i)���a(b��)���͌�����������g(sh��),��ʹ�ô����������š��w���f���֌����\(y��n)��(d��ng)����(n��i)�õĽ^���͜ضȂ���������a(b��)�������͜ض�������w�e�����c�|(zh��)�������g�IJ,������(du��)�Ñ���(bi��o)��(zh��n)���r�M(j��n)������,������Alicat�|(zh��)����������
��������NIST����ԴУ��(zh��n)�C����Alicat��11ϵ�Д�(sh��)��ʽ�|(zh��)�����������������ڿ��پ��_�؜y(c��)���������^(gu��)�̚��w���|(zh��)������,�����ÿ��ٷ�(w��n)���ă�(y��u)�|(zh��)늴��y�Լ���(y��u)����PID�{(di��o)У,�����_(d��)����(y��u)��100ms�Ŀ����ٶȣ������֘O�ѷ�(w��n)����,��

�a(ch��n)Ʒ���c(di��n) ��

�� �̓r(ji��)λ�a(ch��n)Ʒ
�� ��(bi��o)��ģ�M���Ʒ�ʽ,����(sh��)�ֿ��x
�� �����̱� 200:1
�� 푑�(y��ng)�r(sh��)�g�� �H��100ms(���{(di��o))

���g(sh��)����(sh��) ��

���|(zh��)Ҫ�󣺷Ǹ��g�ԡ�����,������Ě��w

���|(zh��)�N�?ji��n)ηN���w��(bi��o)��,��Ո(q��ng)����������w���ݱ�

���̣���0-10SCCM �� 0-20SLPM��Ԕ��Ո(q��ng)��ԃ��

���̱ȣ�200:1

����@ʾ������102.4%FS

���ȣ�± (0.8%RD+0.2%FS)��RD-�x��(sh��) FS-�M����

�؏�(f��)�ԣ�± 0.2% FS

���c(di��n)Ư��&�M����Ư�ƣ�0.02% FS / oC / Atm

�A(y��)��r(sh��)�g��<1s

푑�(y��ng)�r(sh��)�g��100ms(���{(di��o))

��(bi��o)�����r��25oC & 100kPa �^��

�����ضȣ�-10 �� +50 oC

������ȣ�0-100%,�o(w��)����

��(bi��o)��(zh��n)�����������1MPa �퉺

��(bi��o)��(zh��n)�O���͉���1.2MPa �퉺

�Љ��x�(xi��ng)��2MPa

ģ�Mݔ��/ݔ����̖(h��o)��0-5Vdc��1-5Vdc��0-10Vdc��4-20mA

��(sh��)��ݔ��/ݔ����̖(h��o)�����xRS-232

���늉���7-30 Vdc (���x4-20 mAݔ��,��횞�15-30 Vdc)

��������250mA

늚�ӿڣ�DB15

���|(zh��)��302���P�,��Viton�����zRTV,����������(qi��ng)����,���X��

�S�~,�� 430FR ���P�,�� �衢 ����

���b��ʽ����(du��)λ�ßo(w��)Ҫ�� ���o(h��)�ȼ�(j��)��IP40

��(y��ng)�ü����� ��

�� ��W(xu��)/���
�� �h(hu��n)���O(ji��n)�y(c��)
�� ����Ĥ
�� ���I(y��)�t�G
�� �댧(d��o)�w
�� ��܇����
�� ���
�� ȼ��늳�
�� Ӌ(j��)��
�� �^(gu��)�̹�ˇ���w�y(c��)��