���a(ch��n)Ʒ��������

����(gu��)ALICAT 21Sϵ�п����g���|(zh��)������������,�����Ã�(n��i)���a(b��)���͌�����������g(sh��)��ʹ�ô����������š��w���f���֌����\(y��n)��(d��ng),����(n��i)�õĽ^���͜ضȂ���������a(b��)�������͜ض�������w�e�����c�|(zh��)�������g�IJ,������(du��)�Ñ���(bi��o)��(zh��n)���r�M(j��n)������������Alicat�|(zh��)������������������NIST����ԴУ��(zh��n)�C��(sh��),��Alicat��21Sϵ�Д�(sh��)��ʽ�|(zh��)�����������������ڿ��پ��_�؜y(c��)�������Ƹ��g�Ԛ��w(��NH3,��H2S��SiH4��)���|(zh��)������,���w�e����,�����������@ʾ���w�ض�,���m���ڶ�N�����y(c��)�؈�(ch��ng)��,��

�a(ch��n)Ʒ���c(di��n) ��

�� ��(sh��)�ֻ��a(ch��n)Ʒ
�� ������(sh��)�@ʾ��ݔ�����ضȡ�����,��������
�� ������(sh��)����:�w�e����,���|(zh��)�������͉���
�� ���x�߾��ȣ���(y��u)��0.5%
�� �����̱� 100:1
�� 푑�(y��ng)�r(sh��)�g�� �H��100ms(���{(di��o))
�� ��(n��i)��130�N��Ҏ(gu��)�Լ����g�Ԛ��w������|(zh��)���Ț�CL2 �� ��������SO2��ӆ؛�r(sh��),���������f(shu��)����
�� �ɬF(xi��n)��(ch��ng)��(bi��o)����Ϛ��w,�����惦(ch��)20�N��Ϛ�
�� ���m�����T�ฯ�g�Ԛ��w

���g(sh��)����(sh��) ��

���|(zh��)Ҫ�󣺝���������Ě��w,�����g�ͷǸ��g�Ծ���

���|(zh��)�N���(n��i)����130�N���w,��Ո(q��ng)��ԃ

һ�_(t��i)�O(sh��)���(n��i)�����К��w���Ñ��ɬF(xi��n)��(ch��ng)�x��

���̣���0-0.5SCCM �� 0-5000SLPM��Ԕ��Ո(q��ng)��ԃ��

���̱ȣ�100:1

����@ʾ������102.4%FS

�@ʾ����ͬ�r(sh��)�@ʾ�|(zh��)������,���w�e����,���������ض�

���ȣ�± (0.8%RD+0.2%FS),��RD-�x��(sh��) FS-�M����

�߾��ȣ�±(0.4%Rd + 0.2%FS),���x��

�H�m�������̞�5SCCM-500SLPM���O(sh��)��

�؏�(f��)�ԣ�± 0.2% FS

���c(di��n)Ư��&�M����Ư�ƣ�0.02% F.S / oC / Atm

�A(y��)��r(sh��)�g��<1s

푑�(y��ng)�r(sh��)�g��100ms

��(bi��o)�����r��25oC & 100kPa �^����20oC & 100kPa �^��,��0oC & 100kPa �^�� (���N���r�F(xi��n)��(ch��ng)���ГQ)

�����ضȣ�-10 �� +50 oC

������ȣ�0-100%,�o(w��)����

��(bi��o)��(zh��n)�����������1MPa �퉺

��(bi��o)��(zh��n)�O���͉���1.2MPa �퉺

�Љ��x�(xi��ng)��2MPa

��(sh��)��ݔ��/ݔ����̖(h��o)��RS232,��RS485��Modbus,��Profibus*

ģ�Mݔ��/ݔ����̖(h��o)��0-5Vdc,��1-5Vdc,�� 0-10Vdc��4-20mA

���늉���7-30 Vdc (���x4-20 mAݔ��,��횞�15-30 Vdc)

��������250mA �� 750mA

늚�ӿڣ�8�Mini-DIN,��DB9��DB15,��6ᘹ��I(y��)���^

���|(zh��)��316L���P�,��303���P�, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

�ɸ���(j��)������w�x��Viton, EPDM, Buna, Neoprene

���o(h��)�ȼ�(j��)��IP40

* ���xProfibus���t�o(w��)ģ�M��̖(h��o),���o(w��)�@ʾ,���乩�늉���

����������ԃ�҂�

��(y��ng)�ü����� ��

�� ��W(xu��)/���
�� �h(hu��n)���O(ji��n)�y(c��)
�� ����ИI(y��)���Ĥ
�� ���I(y��)�t�G
�� ��܇����
�� Ӌ(j��)��
�� �^(gu��)�̹�ˇ���w�y(c��)��