�ձ�����HITACHI TMA 7100 ��Cе�����x,������ʹ��Ʒ̎�ڳ�����ƵĜض���,����ʩ�ӆ��l����l����ʎ��,���о���Ʒ�ęCе�О�,���y���䃦��ģ��,���p��ģ���͓p�������S�ض�,���r�g�c�����l�ʵĺ���(sh��)�P(gu��n)ϵ,���V����(y��ng)���ڟ������c���������,�����z,��Ϳ�ϡ������c�Ͻ�,���o�C����,����(f��)�ϲ��ϵ��I(l��ng)�򡣜y���c�о����ϵ��������ԣ�����ģ�������ԣ�,��ճ����,���������D(zhu��n)׃��ܛ���ض�,���p��ģ�������ᣩ,����׃�c��(y��ng)���ɳڡ�������׃,���̻��^�̵�,��

 

 

::���g(sh��)����(sh��)::

1.�ضȷ������Ҝ� �� 600oC

2.�ضȜʴ_�ȣ�±0.2��

3.�ض��؏�(f��)�ԣ�±0.1��

4.�t�w�ӟ᷽ʽ�����ٽz�ӟ�(��t�Ͻ�)

5.�������ʣ�0.01 �� 100oC/min

6.���l(f��)������ʽ������ʽ

7.ʩ������ͬ�Sʩ��

8.̽���ͣ�ʯӢ�����s/��Û,����͸,������͏����������X:���s/��Û

9.̽ᘷN���ֱ�o������̽ᘣ����׮a(ch��n)����׃��

10.֧����ͣ�����Q��֧�ܣ����Мyԇģʽ���o����Q֧�ܣ�

11.TMA���̣�± 5000um

12.TMA�ֱ��ʣ�0.5 nm

13.��•��RMS����5 nm

14.TMA�`���ȣ�10 nm

15.�d�ɷ�����0.098mN to ± 5.8N

16.�d�ɷֱ��ʣ�9.8μN

17.�l�ʣ�����0.001~1Hz

18����Ʒ�L�ȣ�25mm

19.�yԇģʽ���˜�TMA����׃����,������ģ��,��ƣ�ڜy������(y��ng)���ɳ�,�����տs��(y��ng)��,���̻��О顢��(y��ng)��/��(y��ng)׃����,���d�ɿ���ģʽ(�̶��d��,�����d��,�d���l��,�M���d��),��DMA�y��

20.λ�ƿ���ģʽ���̶�λ��,����λ��,λ���l��,�M��λ��

 

 

::��(y��ng)���I(l��ng)��::

�����������һϵ����̖�ăx�����ɏV����(y��ng)�����T���I(l��ng)��,�����͑�(y��ng)���磺

§ �ۺ��������

1. DSCϵ�У����ڜʴ_���ϱ���

2. STAϵ�У�����ȫ����C���Ϻ͟����

3. DMA7100�����ڸ�����ճ���Է���

4. TMAϵ�У��a(ch��n)Ʒ���ھۺ���׃�η���

§ ʳƷ�|(zh��)��������ʳƷ�|(zh��)�����C��

1. DSCϵ�У�����ʳƷ���ܷ���

§ �t(y��)������ˎ��(y��ng)���I(l��ng)��Įa(ch��n)Ʒ������ˎƷ���t(y��)���a(ch��n)Ʒ�_�l(f��)���|(zh��)�����ƣ�

1. DSCϵ�У�����ˎ���u�r

2. STAϵ�У����ڟ�ֽ��о�

§ ���WƷ���|(zh��)������

1. DSC��STAϵ�У����ڲ��������������z��ճ�τ��ڸߜ��µ����ܣ�

§ �������a(ch��n)/�T��

DSC,��STA��TMA��DMA,��

§ 늳����a(ch��n),���_�l(f��)�ͻ�������

1. DSCϵ�У�������Ȳ��ϱ�������

§ ����

1.STAϵ��