#��Ӽ��܄� #���� #�܄����� ����ӻ��W(xu��)Ʒ�ھ��A�Ƴ��Б�(y��ng)���I(l��ng)��V����������ˇ���g(sh��)��ͻ�ƌ������M(j��n)�����,������ӻ��W(xu��)Ʒ�ڰ댧(d��o)�w���A�Ƴ��Б�(y��ng)���ھ��A��ϴ,�����g,���@Ӱ��ϴ��ȥë�̵ȹ�ˇ,���ھ��A�I(l��ng)������ͷ�y�I(l��ng)��(y��ng)�÷ֲ��V,��

�����߼�ԇ���đ�(y��ng)�ö�N����,�������ھ��A���a(ch��n)�^���Ќ��ھ��A����ϴ����оƬ�����̹�ˇ�еĿ��g,���@Ӱ��ϴÓ�^�̣�ͬ�r��оƬ����� PCB �������е���Һ�����������~�����Ƃ�ԭ������Ҳ���ڳ����߼�ԇ������,�� 

�ڼ����·�ӹ�֮ǰ,����회����A�M(j��n)����ϴ,����������ھ��A��֮΢�m,�� �����x�Ӽ��ЙC(j��)��֮�s�|(zh��),��CMP ��ĥҺ������ԭ�����漰�����߼�ԇ���đ�(y��ng)�ã����������������������p��ˮ��H2O2���͉A����Һ KOH,���ڹ����̎���^�����漰���Aϴ��ȥ Si ���Ϻ���ϴ� SiO2 �����^���зքe�漰�A��ԇ����ˮ NH3H2O ������ԇ�� H2SO4 ��,�� 

Ŀǰ�ѹ��_���P(gu��n)���p��ˮ�x�ӽ��Q��֬�������Č�����Ҫ�����Ž׷N:һ�Dz����ЙC(j��)̼���������x�ӽ��Q��,�����Dz������x�ӽ��Q��֬�ӻ촲�x�ӽ��Q��֬�������Dz��ô��������֬�����x�ӽ��Q��֬��̎������,��

�C������,���x�ӽ��Q��֬�����������H����ȥ���ЙC(j��)̼,������Ҳ��ȥ�����ֽ����x���s�|(zh��)��fe,��al���x�ӡ����nj��H��(y��ng)����,����֬�׷ֽ�,����(qi��ng)�Ƚ��ͣ�������z�|(zh��)���w,����(d��o)�˜�֬�l(f��)�������Ȇ��},������̎���ɱ��ߣ����xЧ����,�������_(d��)����Ҫ��Ȇ��},��

���Q�F(xi��n)�м��g(sh��)�������p��ˮ������������֬�׷ֽ⣬��(qi��ng)�ȵ�,������Ч����Ȇ��},�����չ��ܲ������޹�˾ͨ�^�ض��ֶ�̎��������֬�����Ƙ�֬�����Y(ji��)��(g��u),����(y��ng)�����p��ˮ�����r,���������õļ���Ч������(qi��ng)�Ⱥ���Ó�������õ��@�����,��

ԓ��ˇ����Ч���ͳ�ˮ��TOC���,���ɱ��C��ˮ�_(d��)��(bi��o)�ŷŻ�M����m(x��)��ˇ���\��Ҫ��ͬ�r��ˇ���̺���,���Ɍ��F(xi��n)ȫ���Ԅӻ�����,�������S�o(h��)���㡣 

���P(gu��n)����