�f(w��n)���h(hu��n)���������⾀��������(ji��n)��

һ,�����ʽ���⾀�������a(ch��n)Ʒ��B��
      ���ʽ������ʽ�����⾀��������ͨ�^(gu��)�������_(k��i)�ۜ�����(n��i)����������ģ�K�ϵ�������l(f��)������ݗ�䲨�L(zh��ng)��253.7nm�Ķ̲����⾀��(du��)����(j��ng)������ˮ�w�M(j��n)�К�������,���Ķ���Q̎�������ˮ��(x��)��ָ��(bi��o)�ij���(bi��o)��(w��n)�},��ʹ�K�ŷ�ˮ�w�ļ�(x��)���W(xu��)��(bi��o)�_(d��)�������^(gu��)��(gu��)�����P(gu��n)�ŷŘ�(bi��o)��(zh��n)��ˮ�|(zh��)��(bi��o)��(zh��n)Ҫ��,��
��,�����ʽ���⾀�������������c(di��n)��
      ���ʽ������ʽ�����⾀����������ģ�K���O(sh��)Ӌ(j��),�����b����,��������(ji��n)��,���ɸ���(j��)��ͬ̎�������Ñ�Ҫ�����ɽM��ģ�K,���m�÷����V���ɿ��Ը�,��ԓϵ�y(t��ng)�����ٶȿ�,��Ч���ã�����Ч�ʸ�,���\(y��n)���M(f��i)�õ�,���](m��i)���������a(ch��n)���Ķ�����Ⱦ�������õĵ͉��ߏ�(qi��ng)����������Ч�����L(zh��ng),����󽵵��˸��Q���ܮa(ch��n)�����\(y��n)�к;S���M(f��i)��,��
�������ʽ���⾀��������(y��ng)���ИI(y��)��
1,�����ʽ���⾀�������m���ڹ��I(y��)�Uˮ�ŷ�,��������ˮ�ŷ���ĩ��ˮ������̎��,���m�Ì�(du��)�����ˮ̎��S�����S���t(y��)Ժ�ȵ���ˮ̎��վ,��,��

2/���ʽ���⾀��������������ʽ��ˮ������̎����
3,�����ʽ���⾀�����������������Ҏ(gu��)�ļ���������ˇ�O(sh��)��,��
   ���⾀����ģ�K��������ˮ����(n��i)��������ȫ���](m��i)��ˮ�����I(y��),��
4,������ģ�K�����p�ş������Ų�����ˮ�O(sh��)Ӌ(j��),��ģ�K�϶��(zh��n)�����з��o(h��)�ȼ�(j��)�_(d��)��1P54,���΂�(g��)ģ�K�Y(ji��)��(g��u)�o�������b����,����ˮ����(d��ng)�^(gu��)���пɌ�(sh��)�F(xi��n)�Ϊ�(d��)�S�o(h��),��
5��ģ�K�����c��ˮ���|�Ľ���Ԫ������304/316���P�,�������B�Ӿ��|������¶����ˮ���������,��
6������̎�ܷ�����p�ر��o(h��)�O(sh��)Ӌ(j��),��
7,���O(sh��)����õ͉��ߏ�(qi��ng)����������ߏ�(qi��ng)��UV-��ݔ��,�������L(zh��ng),����Ч������������12000С�r(sh��)�����ܞ�ζ˳���ʽ,�����ڰ��b�c�S�o(h��),��
8,���O(sh��)����õ��(zh��n)�����nj��鱾�a(ch��n)Ʒ��ʹ�õ�����������O(sh��)Ӌ(j��),��ƥ���Ժã����ж�N������B(t��i)�ı��o(h��)����,���ɿ��Ը�,�������L(zh��ng)��
9,��ʯӢ�׹ܲ����M(j��n)��ԭ����ʯӢ,�������͸�^(gu��)�ʴ���93%���c���������,���Y(ji��)��(g��u)����ζ��_(k��i)��ʽ,�����b����,���p��©ˮ�c(di��n)��
10,��ÿ��(g��)ģ�K������©ˮ�z�y(c��)��,��һ��©ˮ�ܼ��r(sh��)���_(k��i)�Դ���l(f��)����(b��o)����̖(h��o)�����C��ȫ��,��©ˮ�z�y(c��)���c�����ͬ�˳���,�����ڰ��b�c�S�o(h��)��
11,����Ч��ȫ�Ԅ�(d��ng)�C(j��)е��ϴ�����(d��ng)��ϴʽ,��ˮ����ϴʽ���Ñ��x�񣩡�
12,����(d��)��(chu��ng)��ˮ�����(d��ng)������ϴϵ�y(t��ng),��
13������ˮ����0.3MPa,��
14,��50C≤�m��(y��ng)ˮ��≤600C��