�댧�w�����O��ͨ�L���ܜy��ϵ�y(t��ng)��������

����

�S������Ч�ʵ����,���Լ��Ś�ͨ�L�Oʩ����������׃�ø������@,���댧�w�O����Ś�ͨ�L�ă�(y��u)��׃��Խ��Խ��Ҫ,���O����Ś�ͨ�L�OӋ�����������ܕ���ɲ����ˆT�Ă���,�������O�������������S�ğ���,��

�댧�w�ИI(y��)��Ҫ�y���C�_ͨ�LЧ�ʣ��M��SEMI S6 Ventilation�ИI(y��)�˜�,��

SEMI S6 Ventilation��ʹ��ʾۙ���w�y����ɢ���ŷŵ�ԇ򞷽���������� HPM����ȼ�ױ����w�İ댧�w�b��ͨ�LЧ��,��

SF6����ʾۙ���wģ�Mй©���w,����ˣ���SF6�z�y�x�ęz�y����Ҫ��O��,��

�댧�w�����O��ͨ�L���ܜy��ϵ�y(t��ng)���������z�y����

���`���ȵĹ�•���V���w�z�yϵ�y(t��ng),����һ�������ھ����r�y��ʾۙ���w���׃�����Ķ��u��ͨ�LЧ�ʵĜʴ_,���ɿ�,����Ч�Ľ�Q������

��•���V���w�����x����ͬ�r�z�y���9�N���w��ˮ��,���z�y���w�N��Ǐ�һ�����^300�N�Ě��w��(sh��)��(j��)�������Ñ��x��,������SF6��ʾۙ���w֮�⣬߀����ͬ�r�z�y�҃������Ě��w���,������CO₂,����ȩ����ϵ���VOC,�����u�r�댧�w�C�_ͨ�LЧ���ṩ����Ĕ�(sh��)��(j��)֧��,��

�����y��ϵ�y(t��ng)�ɹ�•���V���w�z�y�x�����c�ɘ���,������ܛ���M��,�����Ñ�Ҫ�����r�£�߀���Լ���ጷ��b��MFC,����·��һ�w����Q����,��

����

l �댧�w�����O��ͨ�L���ܙz�y�����H�댧�w�f(xi��)��SEMI S6�˜ʣ�

l SF6й¶�z�y