һ,����(y��ng)�÷���
ZR-HYS�Ϳ��Ƅ�(d��ng)ʽ���ӟ��m���������ں���,������,���и��ĥ�ȹ����Юa(ch��n)�����m�ͷۉm�ă����Լ���ϡ�н���,���F�����ϵĻ��յ�,���Ƀ��������Ҹ��ڿ՚��Ќ����w�к��ļ�(x��)С�����w�������Ѓ���Ч�ʸ�,����•��,��ʹ���`�ռ����eС�����c(di��n),���m����늻���,��������̼���o(h��)��,��MAG���ӡ�̼�����ٺ�,�����۸�,�����⺸�ӵȮa(ch��n)����������I(y��)������
��,������ԭ��
1.�����Юa(ch��n)���ğ��m�����������럟�m��������,������ͨ�^���������������W(w��ng)���Ɍ����w�����ĥ�a(ch��n)���Ļ����w���M(j��n)�з��x����,�������^�V�Ŀ՚����M(j��n)��ڶ��ӞVо���o(h��)��,�����o(h��)�匦���M(j��n)�з��������⚈������ֱ���M(j��n)�����^�Vо��������ĺ��m���w���M(j��n)����������^�Vо�M(j��n)�нK�O����,�����^�Vо���^�VЧ�����_(d��)99.9%,���������^�Vо���^�V���ȿ��_(d��)���҃�(n��i)�ŷŘ�(bi��o)��(zh��n)���^�V��ĸɃ��՚�ͨ�^�������·����L(f��ng)��ֱ���ŵ��҃�(n��i)ѭ�h(hu��n),��
2.�Ƅ�(d��ng)ʽ���ӟ��m���������Ãɸ������,���ײ�����2��(g��)����2��(g��)�f�򎧄x܇�b�õľ۰�֬�_݆,�������Ƅ�(d��ng)���ӹ�λ,������ۿ�360��������ͣ��ͨ�^����(d��ng)�������ϵ��ֱ�,�����`���p���S�����ߵ���Ը���_(d��)Ŀ��λ���c(di��n)�����m����Ƕ�,�����ڟo�������������п��ж�λ�����x��2m,3m���������,������ܛ�ܲ����������͜�,����ȼ����ĥ��(f��)�ϲ���,������(hu��)����Ǵ����_�ѣ�ʹ�É������L,���۹�ֱ����160mm.
��,���O(sh��)�䃞(y��u)��
1���O(sh��)���L(f��ng)�C(j��)��늙C(j��),�����÷�ֹ늙C(j��)���ĵķ��^�d�·,����ȫ�Ըߣ��������ܷ�(w��n)��,��
2,���VͲ���������M(j��n)�ڲ������x�䣩��ʹ�É����L,����������0.3μm�ķۉm�w��,�������Ժ�ճ�Էۉm���кܺõ��^�VЧ��,���^�VЧ�ʸ��_(d��)99.9%��
3,�����ÿ�360���S����(d��ng)���f������,���ɏğ���l(f��)��̎�������⣬�������˟��m���ռ���,�����C�����I(y��)�ˆT�Ľ���,��
4����������(n��i)��ᘌ����(z��i)�[���ʹ��w�������������������o(h��)��ʩ,��ʹ��������ʹ�É������L,������ȫ�ɿ���
5,�������՚�ĸ�Š����L(f��ng)�ڷ����������(d��o)�ͷ�ɢ,��������������͡�
6,�����Ў��x܇�����nʽ�f���_݆,�������O(sh��)����S���Ƅ�(d��ng)�Ͷ�λ��
7,����������(n��i)�IJ����ܷ�(w��n)��,�����Q���㡣