���Ó����m����ᘌ�(du��)���m��Ó���O(sh��)��Ҫ�󲻔���ߵ���r�������_�l(f��)�����͸�Ч���mÓ���O(sh��)�䣬ԓ�O(sh��)���c�����ĆΙC(j��)Ó����m����ȣ����г��m��Ó��Ч�ʸ�,���\(y��n)��ϵ�y(t��ng)�]���κθ��g����ĥ�p��ʹ�É����L(zh��ng),���������S�o(h��)��(ji��n)������c(di��n),��

һ,������ԭ��

���Ó����m��ϵ�ɷ����m����Ó��ĽM���O(sh��)��,���ɷ����m���ֲ��ú����|(zh��)���մ����L(f��ng)��,����ĥ�p,�����m���w���о���ɢ�M(j��n)�����L(f��ng)�w��(n��i)�����m���x������������,���m���c���w���x,���m�䵽�������(n��i)����(j��ng)ж���y�ų�,��������ğ��⽛(j��ng)�ş��ܵ��M(j��n)�����(j��)Ó��,��

�񷨶���(j��)Ó����Û_��ˮԡ���m������(j��ng)һ��(j��)���m,�������еĴ󲿷ַۉm�ѱ�����,������΢��(x��)�ۉm�M(j��n)�����(j��)�_��ˮԡ���m�����������?z��ng)_��Һ��,���������Һ�κ�ˮ�F,�������еļ�(x��)΢�ۉm�cҺ�Ρ�ˮ�F��ֻ������,���M(j��n)һ�����������еļ�(x��)΢�ۉm,�������еĶ��������c�A��Ó��Һ�w��ֽ��|��ϣ����Ɂ������}���w�����O(sh��)��ײ�,����(j��ng)�Ż��y�ų�,��

�����������c(di��n)

1,�����m,��Ó��Ч�ʸߣ����䌦(du��)10um���¼�(x��)΢�ۉmÓ���ʸ�,��

2,���O(sh��)�����w����w��һ�w��ռ����eС,��

3,��ÓˮЧ���ã����C�L(f��ng)�C(j��)����ˮ,�������g,��

4����偠t�_���ĉA�ԏUˮ��ϴ��Һ,���ԏU�ΏU,��

5���O(sh��)������С,���ܺĵ�,��

6��Һ��ȵף���ˮ����,��

7,�����m�������͸��g����ĥ�p,���͸ߜ�,��ʹ�É����L(zh��ng)��

��,�����܅���(sh��)

1,�����mЧ�ʣ���98.9%��10um���µķۉmȥ���ʣ�75%

2,��Ó��Ч�ʣ���96.7%

3,�����m����������≤1000Pa

4�����m��©�L(f��ng)�ʣ�≤4%

5,�����⺬������≤5%