���Ó����m����ᘌ����m,��Ó���O(sh��)��Ҫ�󲻔���ߵ���r�������_�l(f��)�����͸�Ч���mÓ���O(sh��)��,��ԓ�O(sh��)���c�����ĆΙCÓ����m����ȣ����г��m,��Ó��Ч�ʸ�,���\��ϵ�y(t��ng)�]���κθ��g����ĥ�p,��ʹ�É����L,���������S�o��������c,��

һ,������ԭ��

���Ó����m��ϵ�ɷ����m����Ó��ĽM���O(sh��)��,���ɷ����m���ֲ��ú����|(zh��)���մ����L��,����ĥ�p�����m���w���о���ɢ�M�����L�w��(n��i),�����m���x������������,���m���c���w���x���m�䵽�������(n��i),����(j��ng)ж���y�ų�,��������ğ��⽛(j��ng)�ş��ܵ��M�����Ó��

�񷨶���Ó����Û_��ˮԡ���m��,����(j��ng)һ�����m,�������еĴ󲿷ַۉm�ѱ�����������΢���ۉm�M������_��ˮԡ���m��,��������ٛ_��Һ��,���������Һ�κ�ˮ�F,�������еļ�΢�ۉm�cҺ�Ρ�ˮ�F��ֻ������,���Mһ�����������еļ�΢�ۉm,�������еĶ��������c�A��Ó��Һ�w��ֽ��|��ϣ����Ɂ������}���w�����O(sh��)��ײ�,����(j��ng)�Ż��y�ų�,��

�����������c

1,�����m,��Ó��Ч�ʸߣ����䌦10um���¼�΢�ۉmÓ���ʸ�,��

2,���O(sh��)�����w����w��һ�w��ռ����eС,��

3,��ÓˮЧ���ã����C�L�C����ˮ,�������g,��

4����偠t�_���ĉA�ԏUˮ��ϴ��Һ,���ԏU�ΏU,��

5���O(sh��)������С,���ܺĵ�,��

6��Һ��ȵ�,����ˮ����,��

7�����m�������͸��g,����ĥ�p,���͸ߜ�,��ʹ�É����L,��

�������܅���(sh��)

1,�����mЧ�ʣ���98.9%,��10um���µķۉmȥ���ʣ�75%

2��Ó��Ч�ʣ���96.7%

3,�����m����������≤1000Pa

4,�����m��©�L�ʣ�≤4%

5,�����⺬������≤5%