�������m��������

���Ó����m����ᘌ����m,��Ó���O(sh��)��Ҫ�󲻔���ߵ���r�������_�l(f��)�����͸�Ч���mÓ���O(sh��)��,��ԓ�O(sh��)���c�����ĆΙCÓ����m����ȣ����г��m,��Ó��Ч�ʸߣ��\��ϵ�y(t��ng)�]���κθ��g����ĥ�p,��ʹ�É����L������,���S�o��������c,��

һ������ԭ��

���Ó����m��ϵ�ɷ����m,����Ó��ĽM���O(sh��)��,���ɷ����m���ֲ��ú����|(zh��)���մ����L(f��ng)�ӣ���ĥ�p,�����m���w���о���ɢ�M�����L(f��ng)�w��(n��i),�����m���x�����������£��m���c���w���x,���m�䵽�������(n��i),����(j��ng)ж���y�ų���������ğ��⽛(j��ng)�ş��ܵ��M�����Ó��,��

�񷨶���Ó����Û_��ˮԡ���m��,����(j��ng)һ�����m�������еĴ󲿷ַۉm�ѱ�����,������΢���ۉm�M������_��ˮԡ���m��,��������ٛ_��Һ�棬�������Һ�κ�ˮ�F,�������еļ�΢�ۉm�cҺ��,��ˮ�F��ֻ���������Mһ�����������еļ�΢�ۉm,�������еĶ��������c�A��Ó��Һ�w��ֽ��|���,�����Ɂ������}���w�����O(sh��)��ײ�����(j��ng)�Ż��y�ų�,��

��,���������c

1�����m��Ó��Ч�ʸ�,�����䌦10um���¼�΢�ۉmÓ���ʸ�,��

2���O(sh��)�����w����w��һ�w,��ռ����eС,��

3��ÓˮЧ����,�����C�L(f��ng)�C����ˮ,�������g��

4,����偠t�_���ĉA�ԏUˮ��ϴ��Һ,���ԏU�ΏU��

5,���O(sh��)������С,���ܺĵ͡�

6,��Һ��ȵ�,����ˮ���١�

7,�����m�������͸��g,����ĥ�p���͸ߜ�,��ʹ�É����L,��

�������܅���(sh��)

1,�����mЧ�ʣ���98.9%,��10um���µķۉmȥ���ʣ�75%

2��Ó��Ч�ʣ���96.7%

3,�����m����������≤1000Pa

4,�����m��©�L(f��ng)�ʣ�≤4%

5�����⺬������≤5%