������

�S����(gu��)�Ҍ�(du��)�h(hu��n)����(bi��o)��(zh��n)�IJ�����ߺͷ��w̎�����g(sh��)�İl(f��)չ,����I(y��)�ڲ��ϼӹ�,��܈�܈�ܣ����ϵ�����,���ּ�(j��),�����x�����,��ݔ��,���A�صȵ����a(ch��n)��ˇ�У��a(ch��n)����ˮ���ߵķۉm��΢��(x��)�ۉm,����(du��)���պͲ����O(sh��)���Ҫ��Ҳ�����(y��n)�������,������΢�ۣ��؄e��5΢�����µķۉm��(du��)���w����Σ�����,�����@�N��r��,����(du��)��ʹ�ó��m�����Ñ�������ߵ�Ҫ��Ҫ���в���΢�mЧ�ʸ�,���w�eС,���S�ޱ��B(y��ng)���㡢���ͷ�ˮ,��ʹ�É����L(zh��ng)�����c(di��n)���Չm��,���ܟ�����m�����Ǟ�M���@ЩҪ�����ƶ��ɵ���һ���Չm����

����ԭ����

���m������(j��ng)�L(f��ng)���M(j��n)���в����w���m���䣩,����(d��ng)���m���w���ܟ��������ͨ�^�ܟ���r(sh��),���ۉm���������ܟ�������棬��������͸�^�ܟ�������潛(j��ng)�ܟ����(n��i)ǻ�M(j��n)�������,������(j��ng)���L(f��ng)�ܵ��ų�,���S���ܟ��������ۉm�����ӣ�����}�_���ƃx�ɰ��ն�����߶��r(sh��)���Ʒ�ʽ,�������s�՚⇊���ܟ����(n��i)ǻ��,���������ۼ����ܟ��������ķۉm���ۉm�ښ����Լ�����������������Ҷ�֮�С�

�Y(ji��)��(g��u)���ԣ�

�ܟ����^�VԪ���ʄ��Բ���ʽ��׽Y(ji��)��(g��u),�����ɶ�N�߷��ӻ�������w�Լ������ճ�τ���(y��n)�����֮���M(j��n)���T�͟��Y(ji��),���γ�һ��(g��)����ʽ���ĸ�w���Y(ji��)���^�VԪ�������Y(ji��)����s4mm,�����(n��i)���γɴ�s30μm�ľ����϶,��Ȼ��ͨ�^����ć�Ϳ��ˇ��ĸ�w����Ŀ�϶�����PTFEͿ�ӣ��γ�2~3μm��΢��.,���Y(ji��)��(g��u)�o��,���w�e�H����y(t��ng)���m����1/3��

���ܣ�

�ܟ�����m������Ч����0.1μm���ϵķۉm,����(du��)�ڣ�μm���ϵķۉm����Ч�ʸ��_(d��)99.99%,�ŷ�С��1mg/m3,��(sh��)�F(xi��n)���������x�ϵ����ŷ�,���ܟ�����m�����o늡�����A,���͏�(qi��ng)��,����ĥ�p���V��ğo�����\(y��n)�Еr(sh��)�g�L(zh��ng),��������Ҫ��(j��ng)���ľS�o(h��)�c���B(y��ng),�����õ�������Ԍ������䷀(w��n)����������ʹ�ܟ�����m�����L(zh��ng)����Ч�Ĺ���,��ʹ�É����L(zh��ng)�_(d��)10������,��

�ܟ�����m���V����(y��ng)����ˮ�ࡢ�Vɽ,��ұ��,������,����܇,����ӡ��t(y��)ˎ,��ʳƷ,�����Ӽӹ����F�ؽ��ٻ��յ��ИI(y��),�������ܟ�����m���w�eС,��Ч�ʸߡ��S�ޱ��B(y��ng)����,�����^�V�����ͺ�ˮ���ߵķۉm���^�V���ͼ��w�S�ۉm�Ī�(d��)�؃�(y��u)�c(di��n),���m�Ϛ��w�к�ˮ�����͵����I(y��)��(ch��ng)��,��Ҳ��늳��m�Ͳ����Չm���o���ȔM��,��