һ����������|(zh��)

����Ҳ�Q���飬�ǻ��W����ʽ��SiH4��һ�N������,��ԓ���w�oɫ�o�����ܶ�1.44��/��,�����c-185��,�����c-111.8�棬������ˮ,�����Ҝ��¹�����һ�N��ȼ�Ě��w,���ڿ՚��Пo��ӻ�Դ������Ϳ�����ȼ�����ɶ��������ˮ,�����ų������ğ���,���ɱ�һ��������������

��,��ȼ����ԭ��

��ȼ��������ȼ��ϴ�취����������w,�����քe��һ��ȼ�����Ͷ���ȼ��ϴ�����M�ɡ�

����(j��)����(����)�ڿ՚�����ȼ������,������ȼ�������O(sh��)�����]ȼ����,���鱣�C������ȼ���҃�(n��i)���ȼ������횱��Cȼ������(n��i)ؓ��,��������-100Pa����,��

�����m�÷���

�ҹ�˾���a(ch��n)�Ĺ���ȼ����,����Ҫ���چξ���,���ྦྷ���ИI(y��)���a(ch��n)�Юa(ch��n)���Ĺ���β�������ԓ�O(sh��)��ijɹ���(y��ng)��,����Ҫ���ҹ�˾���g(sh��)�ˆT������댧�w�ИI(y��)��������β�⼼�g(sh��)�������������,����M�����(n��i)̫��ܡ������ИI(y��),���댧�w�ИI(y��)��CVD���W���w���e��ˇ�Юa(ch��n)���Ĺ�����w����,��