��ʽ�^�V��(�����^�V����
![]() |
�˚⣺1969 �l(f��)���r(sh��)�g��2008-12-13 15:58 �P(gu��n)�I�~���^�V�O(sh��)�� �a(ch��n)Ʒ��̖(h��o)�� ��(y��ng)���I(l��ng)��ˮ̎�� �a(ch��n)Ʒ�r(ji��)�����h ���˽����a(ch��n)ƷԔ��,��Ո(q��ng) |

��ʽ�^�Vϵ�y(t��ng)��һ�N���͵��^�Vϵ�y(t��ng)���^�V�C(j��)��(n��i)���ɽ��پW(w��ng)�@֧�ΞV��,�����w��������M(j��n),����(j��ng)�V���^�V��ij����������s�|(zh��)���r���ڞV����,�����Q�V�����^�m(x��)ʹ��,��
��ʽ�^�Vϵ�y(t��ng)
���� ����ȡ���Vоʽ�^�V�Ǵ��(sh��)��څ
����1.��ʽ�^�V̎�������w�eС,����������,��һ��(g��)��̖(h��o)�V�����^�V��e�ȵ�ͬ�ڣ���֧����″�V��oՓ�ijɱ�߀��Ч�ʵĽǶȿ��],���V������(y��u)�ڞVо,��
����2.���ڴ�ʽ�^�Vϵ�y(t��ng)����Ô���ͽY(ji��)��(g��u)�����Q�V���r(sh��)������,�������^�V�C(j��)����ϴ,��ʡ��ʡ�r(sh��)��
����3. �V����(c��)©�C(j��)�ʺ�С,�������ر��C���^�VƷ�|(zh��),�����Vо�Ă�(c��)©�C(j��)���^��,�� n ֧�Vо�Ă�(c��)©�C(j��)���_(d��)���� 2n ��(g��)��
����4. ��ʽ�^�V�ɳ��d����Ĺ�������,�����pС,���\(y��n)���M(f��i)�õͣ���(ji��)��Ч�����@,��
����5. �V���^�V���Ȳ������,���^�V�ľ���Ŀǰ�ѽ�(j��ng)�_(d��) 0.5μm ���ںܴ󷶇���(n��i)�ѽ�(j��ng)����ȡ���Vоʽ�^�V ,��
����6.��ʽ�^�V��(y��ng)�÷����V��ʹ���`��,�����b��ʽ����,��
����7. ���c����ϴ��Ĥ�^�V������Ô�����^�Vϵ�y(t��ng)���ʹ��,���M�㲻ͬ��Ҫ,��
��ʽ�^�Vϵ�y(t��ng)
���� ����ȡ���Vоʽ�^�V�Ǵ��(sh��)��څ
����1.��ʽ�^�V̎�������w�eС,����������,��һ��(g��)��̖(h��o)�V�����^�V��e�ȵ�ͬ�ڣ���֧����″�V��oՓ�ijɱ�߀��Ч�ʵĽǶȿ��],���V������(y��u)�ڞVо,��
����2.���ڴ�ʽ�^�Vϵ�y(t��ng)����Ô���ͽY(ji��)��(g��u)�����Q�V���r(sh��)������,�������^�V�C(j��)����ϴ,��ʡ��ʡ�r(sh��)��
����3. �V����(c��)©�C(j��)�ʺ�С,�������ر��C���^�VƷ�|(zh��),�����Vо�Ă�(c��)©�C(j��)���^��,�� n ֧�Vо�Ă�(c��)©�C(j��)���_(d��)���� 2n ��(g��)��
����4. ��ʽ�^�V�ɳ��d����Ĺ�������,�����pС,���\(y��n)���M(f��i)�õͣ���(ji��)��Ч�����@,��
����5. �V���^�V���Ȳ������,���^�V�ľ���Ŀǰ�ѽ�(j��ng)�_(d��) 0.5μm ���ںܴ󷶇���(n��i)�ѽ�(j��ng)����ȡ���Vоʽ�^�V ,��
����6.��ʽ�^�V��(y��ng)�÷����V��ʹ���`��,�����b��ʽ����,��
����7. ���c����ϴ��Ĥ�^�V������Ô�����^�Vϵ�y(t��ng)���ʹ��,���M�㲻ͬ��Ҫ,��