ԭ������

���m���w����ڽӹ��M(j��n)����m�C(j��)�M,���M(j��n)��e�m�}(c��ng)����w�,��҉m�������đT������ֱ�ӳ��뼯��Ͱ��С�w�,��҉m�ښ����������µ��_(d��)�VͰ�^(gu��)�V��,���������^(gu��)�VͰ�����L(f��ng)�C(j��)�ų������҉m�t���^(gu��)�V�ڞVͰ����,��

����ϵ�y(t��ng)��(hu��)���r(sh��)�Ԅ�(d��ng)��(du��)�VͰ�M(j��n)����ҹ���,����ҹ����r(sh��)����ϵ�y(t��ng)��(hu��)�Ԅ�(d��ng)�����_(k��i)늴��}�_�y���߉��՚�˲�g���^(gu��)�V�ڞVͰ����ķۉm����,���ۉm�����������������뼯��Ͱ��,��늺����������к�΢��(x��)���ٷۉm�ͻ��W(xu��)���|(zh��)��(j��ng)�^(gu��)�O(sh��)��̎�������Ч���_(d��)99.9%��������Ŀ՚��ֱ������S��?j��)?n��i)ѭ�h(hu��n),��

�O(sh��)��M��

������ͨA3���������,����Ҫ����������M(j��n)�L(f��ng)�ڡ����L(f��ng)�C(j��),��������,����Ч�VͰ���VͰ֧��,��������,�����L(f��ng)�ڡ����mͰ,���O(sh��)���_݆,���}�_����ϵ�y(t��ng)�������,��늿���,���f(w��n)���D(zhu��n)��(d��ng)��

���m�۵ȽM��,�������������ɺܺõ�ȥ���U���еķۉm�����W(xu��)��ζ,���O(sh��)��֞��Ƅ�(d��ng)�����ЃɷN�����L(f��ng)ϵ�y(t��ng)������2—4���L(zh��ng)�Ļ��(d��ng)�����,���Ɍ������ֿ��S������ͣ�������S���g������λ��,������ʹ�ú�(ji��n)�η��㡣

��(y��ng)���I(l��ng)�򣺺���,�������и�,����ĥ�����������ИI(y��)�ij��m����,��

�VͰ���m��Ԫ���c(di��n)

�VͰ�����һ�N������(x��)�ď�(f��)�ϲ����Ƴ�,�����Բ���0.01μm�ĘO��(x��)���m����Ͱ�ڱ���⻬,������(hu��)ճ���ۉm,��������(hu��)ʹ�ۉm�B͸���V�ă�(n��i)��,����(sh��)�F(xi��n)�����Ч�^(gu��)�V���@�ӿ���ʹ�����ڞV�ı���ķۉm���}�_�����՚������^(gu��)����˲�gÓ��,���Ķ������^�ߵ��^(gu��)�VЧ��,���^�L(zh��ng)��ʹ�É������^�͵��\(y��n)�гɱ���ͨ�^(gu��)������(b��o)����ʾ�Vо�ĸ��Q������,��

1) �\(y��n)���^(gu��)���пɴ��_(k��i)㕽ӿ��p�׵Č����mͰж�Œ��҉m����,������(g��)�����^(gu��)�̺�(ji��n)�η��㲻Ӱ��O(sh��)��������\(y��n)�D(zhu��n)��

2) ���w�Y(ji��)��(g��u)�ɸ���(j��)�Ñ��ľ��wҪ�󼰬F(xi��n)��(ch��ng)��(sh��)�H��r�`��M��,��

3) �Y(ji��)��(g��u)�o��,�����p��ռ����e�Ϳ��g��

4) �����˞VͰ�^(gu��)�V�¼��g(sh��),����(y��ng)�ó���(x��)�����w�S��(f��)Ĥ�����Ƴ��ް�Ͱ�w,���^(gu��)�V��e���^(gu��)�V�L(f��ng)�كH0.012��/s,����(sh��)�F(xi��n)�����^(gu��)�V,���}�_�����r(sh��)�ۉm����Ó�䣬ʹ���m�O(sh��)��ʼ�K�ڵ��������\(y��n)��,��ʹ�É����L(zh��ng),��

5) �S�o(h��)��(ji��n)�η��㣬���ОVͰ�����κι��߾Ϳ��Ժܷ���IJ�ж�͸��Q,��

�VͰʽ���m�C(j��)�MҎ(gu��)���