�a(ch��n)Ʒ����

���͸�Ч���L(f��ng)���m���Ǻ��Z˹��˾�_�l(f��)�Č����a(ch��n)Ʒ,����Q�˚⡢������x�^���д��ڵĹ��̼��g(sh��)�y�},����(du��)��2-10μm�ķۉm,�����mЧ���_(d��)����99%����,������������800Pa����չ�����L(f��ng)���m���đ�(y��ng)���I(l��ng)��,��ʹ���L(f��ng)���m���_(d��)���˲������m���ij��mЧ�ʣ����Љ�����,���Ŵ�Ч��(y��ng)С��Ͷ�Y��,���\(y��n)���M(f��i)�õ�,����������,����(y��ng)�÷����V�ȃ�(y��u)�c(di��n),��

��ˇԭ��

���͸�Ч���L(f��ng)���m������Ͳ�A�F�Y(ji��)��(g��u)�����w��Ͳ�w�²������(n��i)��,����(j��ng)��(d��o)�������������M(j��n)��һ�η��x,�����x��Ĵ󲿷֚��w��픲�ֱ���������������w�y���ۉm�حh(hu��n)϶���D(zhu��n)�����M(j��n)�ж��η��x,���ۉm�M(j��n)��҂},���������w���F�w�S�ķ��D(zhu��n)�����ٴ��M(j��n)�з��x,����(sh��)�F(xi��n)�����͸�Ч���L(f��ng)���m�Ĺ�ˇ,��

���g(sh��)��(chu��ng)��

���͸�Ч���L(f��ng)���m���g(sh��)��ͨ�^�����b�����Զ������w��������(d��ng)����Փ�о��ɹ�����A(ch��),��ͨ�^��(n��i)��(g��u)����(d��o)���ص׸�׃�˂��y(t��ng)���L(f��ng)���m����(n��i)����·,����ֹ�����w��·���ۉm�Ķ��ξ�P(y��ng),������(xi��ng)����ָ��(bi��o)��̎��ͬ��O(sh��)��ć��H�I(l��ng)��ˮƽ,���@��(bi��o)־�����L(f��ng)���m���g(sh��)ȡ����ͻ�����M(j��n)չ��

�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)

1,����ˇ���M(j��n)���mЧ�ʸ�    2,��ϵ�y(t��ng)����С��Ч��(ji��)��

3���o�D(zhu��n)��(d��ng)������(w��n)���ɿ�    4,���o횙z���\(y��n)�гɱ���

5,���m�ϸߜظ��Ě��w    6���m����ȼ�ױ��Ě��w

���mЧ�ʌ�(du��)��

���͸�Ч���L(f��ng)���m���O(sh��)����̖(h��o)

ע���ָ�ֱ��ָ�՚���md50ֵ����(j��)���x�������|(zh��),���ۉm�����Ĵ�С,���ۉm�������L(f��ng)��,���L(f��ng)�ٞ��Ñ��O(sh��)Ӌ(j��)������N��̖(h��o)�ĸ�Ч���͸�Ч���L(f��ng)���m��,��