����˹��FMS���͸ߜ�ᘴ̚����m����

ԓ�a(ch��n)Ʒ�����͸ߜ�,���ߏ���,������A���g����ĥ,�����۵����c,����(j��ng)�^��ͬ�ı��滯�W̎���c���������g��߀���������,����ˮ����,�����o늵ȹ��ܣ������m��200°C-300°Cϵ�Юa(ch��n)Ʒ,��

FMS����˹�V���c�����w�S�V�����,������ĥ�ԡ������Լ����x���������@���,���ɳГ����^�Vؓ��,���^�V�ٶȿ��_1.5��/�����ϻ���ߣ��\��������,���c�ϳɻ��w�͸ߜ؞V�����,���˷��˻��w�V�����L��׃�δ�,���͜ص�,���͸��g�Բ�����c���ߴ緀(w��n)��,�����ȸ���,�����҃r��������͸ߜػ��W�w�S�͡��V��������F,����ɫұ��,����ʽ��̿��,�� ����,������Ȳ��T��

��Ĥᘴ��^�V���ǰѾ��ķ���ϩ�׏�С��5um����,������ᘴ��^�V�ֱ����һ�N�ͺϞV��,��ԓ��Ĥ�V�����c�����ķ���ϩ��Ĥ����⻬�һ��W���|(zh��)�����串�ϵ���ͨ�^�V���ϵı��,������һ���Էۉm�ӵ�����,�����ۉmȫ�������ڱ�Ĥ�ı��棬���F(xi��n)����^�V������ԓ��Ĥ����⻬,���ИO�ѵĻ��W��(w��n)����,�����ϻ�������ˮ,��ʹ�����ڱ���ķۉm�����ׄ���,��ͬ�r����˞V�ϵ�ʹ�É�����

�c��ͨ�V�����,���䃞(y��u)�c�У�

1�� ��Ĥ�׏���0.23um֮�g,���^�VЧ�ʾ����_��99.99�����ϣ��׺����F(xi��n)���ŷ�,����Һ󲻸�׃��϶��,�����mЧ��һֱ�ܸߡ�

2�� ��Ĥ�V�����_ʼʹ�Õr,�������pʧҪ������ͨ�V��,������Ͷ���\�к󣬉����pʧ�Sʹ�Õr�g������׃���s����,������ͨ�V�ϵĉ����pʧ���Sʹ�Õr�g�����L��Խ��Խ��,��

3�� ��ͨ�V����ʹ���зۉm�������M�뵽��(n��i)��������Խ�eԽ��,��ֱ������϶����,�����²���ʹ�á���ʹ�þ��ķ���ϩ��Ĥ�V��,���^�V�ķۉm�����׏ı�Ĥ�������,�����Ч���ã������L,����ʹ�õ���҉��������^��,���Ķ�����˞V�ϵ�ʹ�É����������@���p�ٳ��m���ęz�޾S�޹�����,�������ˮa(ch��n)Ʒ���\���M��,���c�C���V�Ϻ�ᘴ��^�V�ָ��ϣ��Ƴɾ��ķ���ϩ��Ĥ�V��,���V�������ڟ���������m���ۉm�������طN���յ��I��,��

4�� ԓ��Ĥ�V��߀���л��W��(w��n)���Ժ�,���͟���ͻ��W���g�����ܡ�