�a(ch��n)Ʒ�f����

���F�坍����(y��ng)���x��늲��m�C(j��)��,���ƌW(xu��)�ĽM��,�����L(f��ng)�C(j��)�������£��������F�U�Ⲣ����x�ӵ�������,��ʹ���F���ӎ�����ӣ�����͟������M(j��n)��늈��ӕr(sh��),����늈�����������,�����F���ӳ��e��늘O���ϣ��۷e�ɴ��w���͵κ�������e�ͅ^(q��),����(j��ng)�^̎����,�����F��������Ч�ر���ץ�ռ����ՉmЧ���_(d��)99%���ϣ�̎�����w������0.01um��3um��,����Ŀǰ���F�U��̎�������^��������O(sh��)��,��
 

 
���g(sh��)����(sh��)

ע�����ϔ�(sh��)��(j��)���и���ˡ��֪ͨ,�Ñ���������Ҫ��,��˾���㌣�I(y��)�O(sh��)Ӌ(j��)

���̌�(sh��)��

 
���c(di��n)��

���T����Ӱ푣�
0.3~3.5um�����F�w����(hu��)�������w��(n��i)����������(g��u)����,��

�p�ٹ����¹ʣ�
���F���eʹ�����^(q��),���ذ塢�ߵ�׃��,�������ˤ���¹�,��

�p�ٻ��U(xi��n)�[����
��Һ���e�ډ��桢�컨����,���O(sh��)�����γɝ��ڵĻ��U(xi��n)�[��,��

�p����sҺ�����ģ�
���պ�����F�����؏�(f��)ʹ�Þ鹤�S�p����sҺ�Ľ�(j��ng)��(j��)֧����
��
��(y��ng)�÷�����

����������,�����ͼ���sҺ�ӹ��r(sh��)�a(ch��n)�������F���F��ˮ�����F��,��

�x���f����

���]ǻ�w����(n��i)ǻ�w�e��m3)ϵ��(sh��)��1/min)�L(f��ng)����m3/min)
[�L×��×��]×4(����ϵ��(sh��)���������L(f��ng)��

����CNC܇����(n��i)ǻ�ߴ��L2m�� 1.05m��1m
[2×1.05×1]×4=8.1m3/min

��(j��)��ʽ��������L(f��ng)���x��HJ-EP��8e�����m��
 
�f�������F�ռ��������Է֞�ΙC(j��)ʽ����_(t��i)�C(j��)�����Ѓ����ռ�,��