�㽭�A�حh(hu��n)���O(sh��)�䌍(sh��)�I(y��)��˾ͨ�^�����_�l(f��),�����g(sh��)����,�����g(sh��)���M(j��n)��;��,�������_չ��ʽ���m�����аl(f��)�c�ƏV��(y��ng)��,���Ƴ��˾����ھ�,���x������B(t��i)��ҹ��ܺ��x���z�޹��ܵ�DMLX���x����ҵ͉��}�_��ʽ���m��,��

��ʽ���m���Ĺ����C(j��)���ǣ���偠t�՚��A(y��)�����ų��ğ��⽛(j��ng)�����M(j��n)��U(ku��)ɢ��,��ͨ�^�U(ku��)ɢ����(n��i)�Ě��������b��,�����⽵�����ٺ�����M(j��n)��V�ң�Ȼ��ͨ�^�V���^�V��Ĵ����M(j��n)��V���Ϸ��ă�����,����������L(f��ng)�C(j��)�ŷ�,�����m����ͨ�^�����^�V���ϕr(sh��)�������еĴ��������m��ͨ�^�T����ײ���ñ��V������,��С�������mͨ�^�U(ku��)ɢ�ͺY�����ñ��V������,���^�V�^���и����ڞV������ĵķۉm�ӌ�(du��)�ڟ��mҲ��һ�����^�V���á��S�����m�ڞV��������e,���V����(n��i)��ĉ�������,����(d��ng)�����_(d��)���O(sh��)��ֵ�r(sh��)����(qi��ng)�����ϵ�y(t��ng)�_ʼ����,��ֱ����������O(sh��)��ֵ,�����µķۉm��(j��ng)ж�Ҷ��ų���ͨ�^����ݔ���b�ý�(j��ng)�ܵ����Ђ�ݔ?sh��)��Ҏ(gu��)�̎���?/p>

��ʽ���m��Ҳ�Q�������m��,��

��ʽ���m�����m�ʵĸߵ��c��N�������P(gu��n),������Ҫȡ�Q�ڞV�ϡ��������m���ĞV�ϷN��У��ϳ��w�S,����Ȼ�w�S�����w�S���ɵIJ����,������(j��)�^�V�c��ҵ�Ҫ��Ҫ�ўV�����֣�ճ�ϻ�p�ƳɈAͲ�λ��ƽ�ΞV��,��

��ʽ���m�����҇��_ʼ��(y��ng)���^��,�����������������õĞV���������ܵĜضȲ����ԝM��̎���ߜ�?z��)����Ҫ�󣬞V�����Ч��Ҳ������,��������һ���⵽����,���������ͨ�^�S����־֮ʿ��Ŭ��,���Ƴ������͞V������,����ҵ��Ԅ�(d��ng)���Ƶ����P(gu��n)���g(sh��)Ҳ�����^���M(j��n)����ʹ�ô�ʽ���m����(du��)�ڟ���ĸ��N���r���˸��V�����m��(y��ng)��,������ڟ���̎���I(l��ng)����������(d��ng)�����L(f��ng),��

��ʽ���m���ij��mЧ�ʸ�,�������nj�(du��)�ڼ�(x��)΢�����ğ��m�����ИO�ߵIJ�����,�����^�V�ٶȞ�0.5~2m/min�r(sh��),����(du��)�ڴ���0.1µm��΢��ȥ����Ч�ʿ��_(d��)99�����ϡ���ʽ���m����(du��)ú�N���m��(y��ng)�ԏV��,�����ԑ�(y��ng)���ڲ�ͬ��ݵ�ú�N,�����ǣ���ʽ���m���]���ڳ��m�r(sh��)���Ó����,��������偠t�c(di��n)���A�μ���ؓ(f��)���\(y��n)�Р�B(t��i)��,���鱣�o(h��)�V����횽�(j��ng)��ͨ�ܵ��ŷ�δ��(j��ng)̎���ğ��⣬�����(hu��)��ɴ����Ⱦ,�� 
 
��(du��)���x�ô�ʽ���m���ĘI(y��)��,���A�ع�˾�����½��h��

1��һ��Ҫ�c�񷨸�ЧÓ����m�����ʹ��

�A�ع�˾��2001��1�¾�����Ո(q��ng)�˴�ʽ��Ó��ϵ�y(t��ng)�İl(f��)������,������2004��2��ȡ�Ç���֪�R(sh��)�a(ch��n)��(qu��n)�ֵČ����ڙ�(qu��n),������̖(h��o)��ZL 01 00061.9�����鿴�l(f��)�������C����
�A�ش�ʽ��Ó��ϵ�y(t��ng)�Y(ji��)���˴�ʽ���m�����mЧ�ʸ߼�����(f��)ʽ�񷨳��m��Ó���ʸߵă�(y��u)�c(di��n),����(sh��)�F(xi��n)�˳��m,��Ó��һ�w����������偠t�c(di��n)�𼰵�ؓ(f��)���\(y��n)�Еr(sh��),��������Ȼ��ͨ�^�񷨳��m���M(j��n)��̎��,�����Ա��⟟�ⲻ��(j��ng)̎��ֱ���ŷŵ���r��

2,��Ҫ�_���P(gu��n)�I�������|(zh��)��

�P(gu��n)�I������Ӱ푳��m�����ܺ��\(y��n)�D(zhu��n)�ʵ���ҪҪ��,���������������ҕ���A�ع�˾�ṩ�Ĵ�ʽ���m���x�õ��P(gu��n)�I�����^��(du��)���C�|(zh��)����,����(j��ng)������,���\(y��n)�пɿ���

�ٞV�����x�õ‡�Ʒ�Ƶľ۱�����ᘴ֞̚V��,���ܝM���Ñ����w���r���N��ͬ����Ҫ,���V�����ļӹ���ʹ�����ڿ��_(d��)30000h,��

���}�_�y���x�ðĴ�����Ʒ��,��������(w��n)����ʹ�������L,��

���Ԅ�(d��ng)�����O(sh��)�䣺���x�õ‡�Ʒ��,�����ܿɿ���ʹ�������L,��

�܃x�����x���_(t��i)��Ʒ��,��Ӌ(j��)����(zh��n)�_,��ʹ�������L,��

3,���������M(j��n)����ҷ�ʽ

�A�ع�˾�ṩ�Ĵ�ʽ���m�������ھ�ʽ�}�_��ҵķ�ʽ���\(y��n)�еĿɿ����c��(w��n)���Ը�,���S�޹�����С,������ʹ�����^�L�ĞV����≥6m��������p�������C(j��)��ռ����e,���������O(sh��)������,��������������Դ�ĉ����ͣ������ܺ�,���@�N��ʽ�����^�ߵ��^�V�ٶ�,���m���ڴ󟟚����Ĺ��r�l����

4,���x�ÿƌW(xu��)���^�V�ٶ�,���A���ṩ�Ĵ�ʽ���m�����^�V�ٶ�һ��≤1.2m/min���m��(d��ng)?sh��)��^�V�ٶȿ��Ա������\(y��n)�������^����������O(sh��)���������,���V��ʹ�����ڿs��,���ܺ�����Ȇ��}��

5,���؄eע�����C(j��)���O(sh��)Ӌ(j��),�������Ͱ��b�|(zh��)��

�A�ع�˾�ṩ�Ĵ�ʽ���m���؄eע�����C(j��)���O(sh��)Ӌ(j��)�������Ͱ��b���|(zh��)��,�����������w�O(sh��)Ӌ(j��)����,�����ü��g(sh��)���죬����Ҳʮ��ע�������c���b�|(zh��)��,�����(xi��ng)Ŀ��(sh��)ʩ��ȫ�^���ж��w�F(xi��n)���A���˵��|(zh��)�����R(sh��),��

6����(y��n)�����Ҏ(gu��)��,���ӏ�(qi��ng)�ճ��S�o(h��)

��ʽ���m���ij��mЧ�ʕ�(hu��)�ܟ������|(zh��)��׃��(d��ng)���l(f��)������(d��ng),�����Ա�횰���Ҏ(gu��)���M(j��n)�в�����߀��(y��ng)�ӏ�(qi��ng)�V�����Q,�������O(sh��)����P(gu��n)�I�������ճ��z���c�S�o(h��),��