һ,����������|(zh��)

����Ҳ�Q���飬�ǻ��W����ʽ��SiH4��һ�N�����ԓ���w�oɫ�o��,���ܶ�1.44��/��,�����c-185��,�����c-111.8��,��������ˮ�����Ҝ��¹�����һ�N��ȼ�Ě��w,���ڿ՚��Пo��ӻ�Դ,������Ϳ�����ȼ�����ɶ��������ˮ,�����ų������ğ���,���ɱ�һ��������������

��,��ȼ����ԭ��

��ȼ��������ȼ��ϴ�취����������w,�����քe��һ������ȼ����������ȼ��ϴ�����M��,��

����(j��)����(����)�ڿ՚�����ȼ������,������ȼ�������O�����]ȼ���ң��鱣�C������ȼ���҃�(n��i)���ȼ��,����횱��Cȼ������(n��i)ؓ��,��������-100Pa���ҡ�

��,���m�÷���

�ҹ�˾���a(ch��n)�Ĺ���ȼ����,����Ҫ���چξ��衢�ྦྷ���ИI(y��)���a(ch��n)�Юa(ch��n)���Ĺ���β�����,��ԓ�O��ijɹ�����,����Ҫ���ҹ�˾���g�ˆT������댧�w�ИI(y��)��������β�⼼�g������������գ���M�����(n��i)̫���,�������ИI(y��),���댧�w�ИI(y��)��CVD���W���w���e��ˇ�Юa(ch��n)���Ĺ�����w������