CFM�������mϵ�y(t��ng)

�a(ch��n)Ʒ�f����

�������mϵ�y(t��ng)���������m���C(j��)��һ�������m�ܾW(w��ng)�M��,�����m�ܾW(w��ng)�����b���ڲ�ͬ�����a(ch��n)����܇�g������ͬ�ط���Ҫ�����ķۉm,����м�����ռ��ڼ�������,��ʹ����������,��܇�g�����o��CFM     �̶�ʽ�������mϵ�y(t��ng)����ձ�,���^�Vϵ�y(t��ng)����·�ȽM��,���a(ch��n)Ʒ������ɆΙC(j��)���b���𲽌�(sh��)�F(xi��n)��������h(hu��n)��Ҫ����A(ch��)���M(j��n)�е��b�䣬���ԝM����N�����ИI(y��)������,�������,��մճ�����o늵�Ҫ��

CFM���I(y��)�������mϵ�y(t��ng)���c(di��n)��

1,�����I(y��)�������mϵ�y(t��ng)�O(sh��)�侫��,�����ܿɿ������C(j��)�������T����ձú�늿ع�,��

2,�����ÞVͲʽ�^�Vϵ�y(t��ng),���������^�V��e���O�������˳��mЧ��,����Ч���mЧ���_(d��)0.3μm99.997%,��

3���VͲ����ɲ���PTFE�V��,���؄e�m���^�V�����ճ�Ե����|(zh��)����̿�ڵȣ�,��

4�����C(j��)���Љ����@ʾ�����x���b�Ԅӷ�������,���ܴ_���C(j��)���L�r�g�B�m(x��)����,��

5��ϵ�y(t��ng)ĩ�˾���ж���y�ͼ��m��������λ������,�����Cϵ�y(t��ng)��ȫ�ɿ��Ĺ���,��

6���ܾW(w��ng)ĩ�˞����ܿɿ������]ʽ���b���^�Ϳ��b���^���,��ϵ�y(t��ng)ĩ��ʹ��΢���_�P(gu��n),���_����ʹ�õĿ�ݺͺ��Σ�

CFM���I(y��)�������mϵ�y(t��ng)�������ƒ�(y��u)�c(di��n)��

1,����(ji��)ʡ�r�g,����ϵ�y(t��ng)�ܾW(w��ng)ĩ�˵IJ�ͬλ�ÿ�ͬ�r�M(j��n)�ж��c(di��n)���m���I(y��)��

2,���������a(ch��n)Ч��,�����M(j��n)���B�m(x��)���m�������p���C(j��)������Ҫ��ͣ�C(j��)�r�g,��

3,�����x�Ŀ�����������ϵ�y(t��ng)����(d��ng)�����ռ��M��,�����������Ԇ����Ԅ������������,��

4����(ji��)ʡ���g,�����m���C(j��)�̶�,��ֻ�ǹܾW(w��ng)���õ��a(ch��n)�m�c(di��n)������ռ�õĿ��g����,��

5,��ʹ܇�g�����o�����C(j��)�̶���ij��λ�û�S������,���@�����m�c(di��n)�����o