面對(duì)當(dāng)今激烈的商業(yè)挑戰(zhàn),，微電子制造商正不斷努力，力求提高企業(yè)盈利、產(chǎn)品質(zhì)量、運(yùn)行可靠性,，及達(dá)到環(huán)保要求,。納爾科在水處理和工藝處理方面的創(chuàng)新解決方案能有效幫助您達(dá)到以上目標(biāo)。
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超純水（UPW）生產(chǎn)
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- 降低耗水量
- 提高效率
- 風(fēng)險(xiǎn)最小化
- 降低總運(yùn)行成本
鍋爐水
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- 定制解決方案以防止系統(tǒng)故障
- 提供解決原有設(shè)計(jì)問(wèn)題的咨詢服務(wù)
收益
- 延長(zhǎng)因水引起的設(shè)備平均故障間隔時(shí)間
BTA測(cè)量
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解決方案
- PermaCare® 反滲透處理
收益
- 優(yōu)化超純水系統(tǒng)性能
- 防止膜損壞和超純水水質(zhì)的下降
- 使回收最大化，降低耗水量和成本
水再利用/循環(huán)/再生
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解決方案
- 預(yù)處理設(shè)備（軟化裝置,、反滲透裝置）
- 化學(xué)處理方案（NexGuard®）
收益
- 減少燃料用量,，提高鍋爐效率
- 腐蝕最小化，防止結(jié)垢和其他沉積
- 提高蒸汽質(zhì)量
洗滌塔
解決方案
- 阻垢劑和生物殺菌劑
- 現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)
收益
- 達(dá)到EH&S標(biāo)準(zhǔn)
- 達(dá)到空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
- 減少因結(jié)垢和/或生物污垢引起的停機(jī)
工藝?yán)鋮s水（PCW）
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解決方案
-為基于銅的微電子產(chǎn)品制造商提供高精度在線BTA測(cè)量
收益
- 優(yōu)化BTA加藥和控制
- 防止加藥不足引起的銅線路腐蝕以及加藥過(guò)量引起的晶片表面污染
- 在無(wú)需變動(dòng)主要工藝的情況下提高產(chǎn)量
化學(xué)機(jī)械研磨法
廢物管理/水回收（CMP WM/WR）
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解決方案
- 全面水務(wù)管理（IWM）
收益
- 提高水管理效率
- 降低總運(yùn)行成本
- 通過(guò)水的最佳利用而減少風(fēng)險(xiǎn)
冷卻水/冷凍機(jī)
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解決方案
- 從廢水處理到全面操作和維護(hù)管理的一系列CMP相關(guān)服務(wù)
收益
- 以最低的風(fēng)險(xiǎn)回收大量用水
- 應(yīng)對(duì)未來(lái)CMP工藝變化的專(zhuān)業(yè)知識(shí)
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解決方案
- 全系列阻垢/緩蝕劑和生物殺菌劑
- 控制和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)：用于冷卻系統(tǒng)應(yīng)力管理的3D Trasar®,；用于冷凍機(jī)效率監(jiān)測(cè)的Chill-Factor
- 提供以最低的風(fēng)險(xiǎn)將工藝廢水回收用于冷卻塔補(bǔ)水的咨詢服務(wù)
收益
- 腐蝕最小化,，并防止結(jié)垢和生物污垢
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成功案例
STA.BR.EX® 方案避免了維護(hù)停機(jī)時(shí)間
韓國(guó)某半導(dǎo)體工廠遇到粘泥積聚問(wèn)題，粘泥污染了洗滌塔的填充介質(zhì)。洗滌塔效率不斷降低,，而耗水量則不斷上升,。一年內(nèi)為清洗填充介質(zhì)及替換故障線路而造成的停機(jī)達(dá)74次。納爾科現(xiàn)場(chǎng)專(zhuān)家與工藝工程師共同開(kāi)發(fā)出一種在線系統(tǒng)清洗方案,，并采用ST40作為日常維護(hù)方案的一部分,。
通過(guò)應(yīng)用納爾科方案，工廠實(shí)現(xiàn)了：
- 年清洗成本節(jié)約54, 500 美元
- 年用水成本節(jié)約50, 000 美元
- 年產(chǎn)量增加4, 500,000 美元
RO TRASAR®每年可節(jié)約500, 000美元
納爾科與某主要微電子制造商合作進(jìn)行的一項(xiàng)試驗(yàn)顯示,，RO TRASAR可提供不間斷及質(zhì)量可靠的超純水供給,。這些重要的成功因素還為客戶帶來(lái)了以下收益：
- 化學(xué)品和清洗成本的降低
- 膜使用壽命的延長(zhǎng)
- 水質(zhì)/水利用/節(jié)水的改善
- 全球每年節(jié)約可達(dá)500, 000 美元
