���⾀���ˮ̎���� 

��ʹ�������ˮ�_(d��)����(gu��)��Ҏ(gu��)���ġ��������ˮ�l(w��i)����(bi��o)��(zh��n)��,���ϡ��������ˮ�l(w��i)���O(ji��n)������?xi��ng)l����,��Ч�Ľ�Q�oˮϵ�y(t��ng)��(du��)�������ˮ��ɵĶ�����Ⱦ,������˾����
�_�l(f��)��XZY30��ϵ�����⾀�������ˮ̎����,��
 
��(y��ng)���I(l��ng)��
   
�����⾀�������ˮ̎�����m����һ��С�͹�ˮϵ�y(t��ng),���Ǹ�λˮ��,����(ch��)ˮ�س��ڣ�����ʽ��ˮ׃�l��������������x�O(sh��)��,������Ч��Q���ڶ�����Ⱦ��ɵ��к�
��Ⱥ����(bi��o)��(w��n)�},��ͬ�r(sh��)�m����ʳƷ,�����,���t(y��)ˎ���ИI(y��)����ˮ������

�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)
1,�������ٶȿ�,������׃ˮ������,�����W(xu��)���|(zh��)��������ˮ����ζ,�����a(ch��n)����(du��)���w�к����u�����黯����,���o(w��)ؓ(f��)���á�
2,��̎��Ͳ�w�����M(j��n)�ڃ�(y��u)�|(zh��)���P䓣��ɝM��0.6MPa�Ĺ�������,�����з��P,����(qi��ng)�ȸߡ��o(w��)�����x����Ⱦ,���O(sh��)����������坍�ȃ�(y��u)�c(di��n),��
3�����⾀���x�Ç�(gu��)���l(w��i)�����T,�����߲��T�b���Č��I(y��)�®a(ch��n)Ʒ,���͉�30W�������V253.7nm,���˲��L(zh��ng)�����⾀���������,�����_(d��)98%���ϣ����ܵ�,���B�m(x��)ʹ�É�����
�_(d��)3000С�r(sh��)����,�������пɿ����(zh��n)���b�á�
4,��ģ�K��늿��b��,�������Rȫ,�����r(sh��)��(zh��n)�_���cˮ̎��Ͳ�w����һ�w���O(sh��)Ӌ(j��),�����а��b����,��������(ji��n)�Σ���ȫ�ɿ�,�����ھS�o(h��)�����c(di��n),��

����ԭ��
   
XZY30ϵ�����⾀�����������ò��L(zh��ng)��225nm~275nm������⌦(du��)΢����ď�(qi��ng)�Қ��������M(j��n)����������������(qi��ng),�����Õr(sh��)�g��,����(d��ng)ˮ����(j��ng)�^(gu��)̎�����r(sh��)����(j��ng)���⾀����,��ˮ�еļ�(x��)����������,��