���⾀���ˮ̎���� 

��ʹ�������ˮ�_������Ҏ(gu��)���ġ��������ˮ�l(w��i)���˜ʡ�,���ϡ��������ˮ�l(w��i)���O(ji��n)������l����,��Ч�Ľ�Q�oˮϵ�y(t��ng)���������ˮ��ɵĶ�����Ⱦ������˾����
�_�l(f��)��XZY30��ϵ�����⾀�������ˮ̎����,��
 
�����I��
   
�����⾀�������ˮ̎�����m����һ��С�͹�ˮϵ�y(t��ng),���Ǹ�λˮ��,����ˮ�س��ڣ�����ʽ��ˮ׃�l��������������x�O��,������Ч��Q���ڶ�����Ⱦ��ɵ��к�
��Ⱥ���ˆ��},��ͬ�r�m����ʳƷ�����,���t(y��)ˎ���ИI(y��)����ˮ����,��

�a(ch��n)Ʒ���c
1�������ٶȿ�,������׃ˮ������,�����W���|(zh��)��������ˮ����ζ,�����a(ch��n)�������w�к����u�����黯����,���oؓ���á�
2,��̎��Ͳ�w�����M�ڃ�(y��u)�|(zh��)���P�,���ɝM��0.6MPa�Ĺ�������,�����з��P�����ȸ�,���o�����x����Ⱦ,���O����������坍�ȃ�(y��u)�c��
3,�����⾀���x�Ç����l(w��i)�����T,�����߲��T�b���Č��I(y��)�®a(ch��n)Ʒ���͉�30W,�������V253.7nm,���˲��L�����⾀��������ߣ����_98%����,�����ܵ�,���B�m(x��)ʹ�É�����
�_3000С�r���ϣ������пɿ����(zh��n)���b��,��
4,��ģ�K��늿��b�ã������Rȫ,�����r�ʴ_,���cˮ̎��Ͳ�w����һ�w���OӋ�����а��b����,����������,����ȫ�ɿ������ھS�o�����c,��

����ԭ��
   
XZY30ϵ�����⾀�����������ò��L��225nm~275nm������⌦΢����ď��Қ��������M������,���������������Õr�g��,����ˮ����(j��ng)�^̎�����r,����(j��ng)���⾀����,��ˮ�еļ�����������,��