·�a(ch��n)Ʒ����

���͸�Ч���L(f��ng)���m�����ҹ�˾�_�l(f��)�Č����a(ch��n)Ʒ����Q�˚�,��������x�^���д��ڵĹ��̼��g(sh��)�y�},������2-10μm�ķۉm�����mЧ���_(d��)����99%����,������������800Pa,����չ�����L(f��ng)���m���đ�(y��ng)���I(l��ng)��ʹ���L(f��ng)���m���_(d��)���˲������m���ij��mЧ��,�����Љ�����,���Ŵ�Ч��(y��ng)С��Ͷ�Y��,���\(y��n)���M(f��i)�õ�,���������Ρ���(y��ng)�÷����V�ȃ�(y��u)�c(di��n),��

·��ˇԭ��

���͸�Ч���L(f��ng)���m������Ͳ�A�F�Y(ji��)��(g��u),�����w��Ͳ�w�²������(n��i)������(j��ng)��(d��o)�������������M(j��n)��һ�η��x,�����x��Ĵ󲿷֚��w��픲�ֱ������,���������w�y���ۉm�حh(hu��n)϶���D(zhu��n)�����M(j��n)�ж��η��x,���ۉm�M(j��n)��҂}���������w���F�w�S�ķ��D(zhu��n)�����ٴ��M(j��n)�з��x,����(sh��)�F(xi��n)�����͸�Ч���L(f��ng)���m�Ĺ�ˇ,��

·���g(sh��)��(chu��ng)��

���͸�Ч���L(f��ng)���m���g(sh��)��ͨ�^�����b�����Զ������w�������ӵ���Փ�о��ɹ�����A(ch��),��ͨ�^��(n��i)��(g��u)����(d��o)���ص׸�׃�˂��y(t��ng)���L(f��ng)���m����(n��i)����·,����ֹ�����w��·���ۉm�Ķ��ξ�P(y��ng),������(xi��ng)����ָ��(bi��o)��̎��ͬ��O(sh��)��ć��H�I(l��ng)��ˮƽ,���@��(bi��o)־�����L(f��ng)���m���g(sh��)ȡ����ͻ�����M(j��n)չ��

·�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)

1,����ˇ���M(j��n)���mЧ�ʸ�    2,��ϵ�y(t��ng)����С��Ч��(ji��)��

3���o�D(zhu��n)�Ӳ�����(w��n)���ɿ�    4,���o횙z���\(y��n)�гɱ���

5,���m�ϸߜظ��Ě��w    6���m����ȼ�ױ��Ě��w