CCSϵ���p�h(hu��n)�_��ʽ���m��������ˮ������Һ�w�c���m���w������ȥ���ۉm���O(sh��)��,�����c�L(f��ng)�C(j��),������b�ú�ˮλ�Ԅ�(d��ng)�����b�ýM��һ��(g��)�C(j��)�M,���Ǽ�����,�����m��Ó��?y��n)�һ�w�ĸ�Ч���mÓ���O(sh��)��,������̖(h��o)�顶93247157.X��,���V�����ڻ���,������,���Vɽ,���C(j��)е�ȹ��I(y��)���T�ĸߝ�ȷۉm��(ch��ng)�ϡ����нY(ji��)��(g��u)��(ji��n)�ξo��,��ռ����eС,������ʩ�����S�o(h��)������(ji��n)�Ρ���ˮ���ٵȃ�(y��u)�c(di��n),���m���ڃ������N���w�S�Էۉm,��

���g(sh��)�f(shu��)��

CCSϵ�г��m����(y��u)�c(di��n)�ǣ�

1�����mЧ�ʸ�,������ϴ0.1μm ���µķۉm����,��

2����(du��)�ߜ�,���߱���,����ȼ���ױ��ĺ��m���w�����^�ߵij��mЧ��,��

3,����ȥ�����w�Љm���ӵ�ͬ�r(sh��)��ȥ�����w�е��ж��к���B(t��i)��Ⱦ��,��

4,���ָ����ڶ�≤1��(j��)���ۉm̎��Ч��95%��98%,��Ó����85%��90%,�����m��������1000Pa��

CCSϵ�г��m���IJ����ǣ�

1,�����m���ں�����ˮ�Ժ�ˮӲ�Էۉm�Ě��w,��

2���ߺ��؅^(q��)ʹ��CCSϵ�г��m�����׽Y(ji��)��,��횲�ȡ������ʩ,��

3����(d��ng)�����и��g�Ԛ��w�r(sh��),�����mϵ�y(t��ng)���O(sh��)�����ȡ������ʩ��