CCSϵ���p�h(hu��n)�_��ʽ���m��������ˮ������Һ�w�c���m���w������ȥ���ۉm���O�䣬���c�L�C,������b�ú�ˮλ�Ԅӿ����b�ýM��һ���C�M���Ǽ�����,�����m��Ó���һ�w�ĸ�Ч���mÓ���O�䡣����̖�顶93247157.X��,���V�����ڻ���,�����ġ��Vɽ,���Cе�ȹ��I(y��)���T�ĸߝ�ȷۉm����,�����нY�����ξo����ռ����eС,������ʩ��,���S�o��������,����ˮ���ٵȃ�(y��u)�c���m���ڃ������N���w�S�Էۉm,��

���g�f��

CCSϵ�г��m����(y��u)�c�ǣ�

1,�����mЧ�ʸߣ�����ϴ0.1μm ���µķۉm����,��

2,�����ߜء��߱���,����ȼ���ױ��ĺ��m���w�����^�ߵij��mЧ��,��

3,����ȥ�����w�Љm���ӵ�ͬ�r��ȥ�����w�е��ж��к���B(t��i)��Ⱦ��,��

4,���ָ����ڶ�≤1�����ۉm̎��Ч��95%��98%,��Ó����85%��90%,�����m��������1000Pa��

CCSϵ�г��m���IJ����ǣ�

1,�����m���ں�����ˮ�Ժ�ˮӲ�Էۉm�Ě��w,��

2���ߺ��؅^(q��)ʹ��CCSϵ�г��m�����׽Y��,��횲�ȡ������ʩ,��

3���������и��g�Ԛ��w�r,�����mϵ�y(t��ng)���O�����ȡ������ʩ,��