��ˇ��(ji��n)�� 
 
        �S���҇�(gu��)�h(hu��n)���������ȵļӴ�,���켈�ИI(y��)�Uˮ�ŷŘ�(bi��o)��(zh��n)����(hu��)���Ӈ�(y��n)��,����һ����ˮ�YԴ�ąT��Ҳʹ���켈��I(y��)��(du��)����ˮ��Ҫ��Ҳ�������С�

        ��M������Ҫ��,��ɣ�¼��F(tu��n)�����B�m(x��)΢�V�����켈�Uˮ���̎����ˇ,��ԓ��ˇ�ǻ��ڮ�(d��ng)������õ��ƏV��(y��ng)�õ�Ĥ���x���g(sh��)�������ԭ��������Ĥ��΢�׌�(du��)ˮ�е��s�|(zh��)�M(j��n)�кY��,�����I(y��)�Uˮ̎���г��õ�΢�VĤ���x���g(sh��)���Է��x��������������0. 1��0.5μm���s�|(zh��),�����Ը���(j��)��ͬ��̎��Ҫ��ͻ���ˮ��(bi��o)��(zh��n),���M���B�m(x��)΢�V���B�m(x��)΢�V�ӳ��V��ˇ,��

        �켈�Uˮ���ЙC(j��)��Ⱦ�������������Ⱥܴ�һ���ڎ�ǧ����ʮ�f(w��n)֮�g���������^С���ЙC(j��)�����ͨ�^(gu��)�������﷨����ȥ��,��һ���ַ������^����ЙC(j��)����ͨ�^(gu��)ˮ��̎��,�������С���������|(zh��)����ͨ�^(gu��)������ȥ��,��ʣ��Ĵ�����ЙC(j��)���ͨ�^(gu��)Ĥ��������,���Ķ��cˮ����x���_(d��)��ȥ����Ŀ��,�� 
 
��ˇ���� 
 
 

��ˇ���c(di��n) 
 
        �� �ɸ߿���Ⱦ�п��w�SĤ�a(ch��n)Ʒ,����������ʹ�É����L(zh��ng),��

        �� ��(d��)�ص��ھ���ˮ�pϴ���g(sh��),��Ĥͨ���֏�(f��)�ʸߡ�

        �� �B�m(x��)΢�V�Ԅ�(d��ng)���̶ȸ�,�����ڲ�������

        �� ��(du��)ԭˮˮ�|(zh��)Ҫ���,����ˮˮ�|(zh��)�á�

        �� ϵ�y(t��ng)���ɻ��̶ȸ�,��ռ����eС,��

        �� ���������ͣ��ܺ���,��

        �� ��(du��)���ߵ�̎��Ҫ��ͻ���ˮ��(bi��o)��(zh��n),���B�m(x��)΢�V�������鳬�V�򷴝B͸���A(y��)̎����ˇ�� 
 
��(y��ng)�÷��� 
 
        ���NҎ(gu��)ģ�켈�Uˮ̎��������

        ������ˮ���̎�������