ģ�KҎ(gu��)��

�a(ch��n)Ʒ����,����С m3/hr

1.65

�a(ch��n)Ʒ����,����(bi��o)�Q m3/hr

3.3

�a(ch��n)Ʒ����,����� m3/hr

4.95

�������b�\(y��n),������

123

����������,������

100

��������(sh��)

���ͻ����� (%)

90-95

����M(j��n)�ω���,��bar

7

��(bi��o)�Q����,��bar

1.4-2.1

����M(j��n)�Ϝض�

 45° C

DC 늉�

0-600

DC ������(sh��)

0-10

�a(ch��n)Ʒˮ�|(zh��)Ҏ(gu��)��

�a(ch��n)Ʒ늌�(d��o)��

>16 megohm-cm

��������

<5 ppb