���͹�ˇ����

�A(y��)̎��ϵ�y(t��ng)→���B͸ϵ�y(t��ng)→���gˮ��→�ֻ�ϴ�→����ϴ�→��ˮ��→��ˮ��→���⾀������→����촲→�����^�V��→��ˮ���� ��≥18MΩ.CM��

���y(t��ng)��ˇ����

�A(y��)̎��→���B͸→���gˮ��→ˮ��→EDI�b��→����ˮ��→��ˮ��→���⾀������→����촲→0.2��0.5μm�����^�V��→��ˮ����≥18MΩ.CM��

���¹�ˇ����

1,���A(y��)̎��→һ�����B͸→��ˎ�C(j��)��PH�{(di��o)��(ji��)��→���gˮ��→�ڶ������B͸����늺ɷ��BĤ��→��ˮ��→��ˮ��→EDI�b��→���⾀������→0.2��0.5μm�����^�V��→��ˮ����≥17MΩ.CM��

2,���A(y��)̎��→���B͸→���gˮ��→ˮ��→EDI�b��→��ˮ��→��ˮ��→���⾀������→0.2��0.5μm�����^�V��→��ˮ�K�ˣ�≥15MΩ.CM��

̎����ˮ�|(zh��)��(bi��o)��(zh��n)

��(j��ng)�^�߼�ˮ���}�O(sh��)���,����ˮˮ�|(zh��)���ԝM���@���,��Һ���@ʾ���� �����·��ˮ��(bi��o)��(zh��n),�� ������Ӽ���ˮ��(bi��o)��(zh��n)�� ����SEMI��(bi��o)��(zh��n),��
 

���P(gu��n)����