��һ��ȼ��ʽLocal Scrubberβ��̎���O(sh��)��

���ͱ�Ĥ̫��ܹ��,��Һ��TFT-LCD��ĤCVD�Ƴ̌���ȼ��ʽβ��̎���O(sh��)��,��

NITSU����ȼ��ʽ��ĤCVD�Ƴ�β��̎���O(sh��)��, ���ձ���ľ����������KIKI SEISAKUSYO�۷e���꽛(j��ng)򞼰�����аl(f��)�ϵ������A(ch��)��, �����������簲ȫҎ(gu��)��, �u�b�^�����՘I(y��)��ͬ��͙C�l(f��)չ�ĵ�ʧ��, �_�l(f��)����������m���ڷǾ��象Ĥ̫���늳ء�������Һ���@ʾ����PECVD�Ƴ�β��̎��������ȼ��ʽ̎���O(sh��)��,��

NITSUȼ��ʽβ��̎���O(sh��)�����;

��̎����w�N����Ǿ��象Ĥ̫���늳ء�������Һ���@ʾ����PECVD�Ƴ��Юa(ch��n)���ďU��,��

NITSUȼ��ʽβ��̎���O(sh��)�����Ҫ���c

1. ȫ�C���w��˼�S��ȫ�O(sh��)Ӌ, �߰�ȫ�˜������\�ஐ���������A(y��)����(y��ng)��Ҏ(gu��)��, ͬ�rͨ�^�˵‡�TUV����SEMI S2,

SEMI S8, EN 60204-1: 2006�J�C,��

2�����؜u������ȼ����, ����̎�����ش�p̎��Ч�ʃ�(y��u)���p���L�r�g�\�D(zhu��n)֮��߷�(w��n)����ه�ԡ�

3��CH4�pC3H8�pȼ�ϙC��, ��ȼ�Ϲ�(ji��)�s�����O(sh��)Ӌ, ���Ͻ�(j��ng)����(ji��)���c�h(hu��n)��Ҫ��,��

4�����ÙCе�ܘ�(g��u)�O(sh��)Ӌ�c�˙C�������, ������������,��ͣ�C���B(y��ng)�l�ʵ͡����B(y��ng)���ο���,�����ϼ���(j��ng)�����õȱ�����(y��u)�c.

5��ȼ������(y��ng)�ҿɶ��r�Ԅ��坍, �L�r�g�\�D(zhu��n)Ч�ʷ�(w��n)��, �؄e�m�ϑ�(y��ng)���ڷǾ��象Ĥ̫���늳�,����ߴ�Һ�����a(ch��n)��֮��SiH4�� PH3��NF3,��SF6���wʹ��, �������a(ch��n)��SiO2,��P2O5�������ۉm�ѷe�������ߝ��HF�ḯ�g���w��PECVD�Ƴ�β��̎����

NITSU��(y��u)�|(zh��)�Ŀ͑�����(w��)

�ձ�ľ���������ṩ��Ĥ̫���늳ؼ�������Һ��PECVD��β��̎��ϵ�y(t��ng), ��Ҫ������:

(1) �s�@�‡�TUV �J�C������ȼ��ʽCVDβ��̎���O(sh��)�� NITSU

(2) ����̎���͏�ϻʽ�^�V�ķۉm���m�CCartridge Filter type Particle Collector

(3) ����̎�������Ś�ˮϴ̎���O(sh��)��Central Wet Scrubber

�Ϻ������h(hu��n)���O(sh��)�����޹�˾�s�@ Kiki �ձ�ľ��ԭ�S���g(sh��)�J�C�ڙ�(qu��n), ��ע����(w��)�����A�^(q��)���б�Ĥ̫���늳ؼ���ߴ�Һ��TFT-LCD����S�͑�, �ṩϵ�y(t��ng)�O(sh��)����Ҏ(gu��)��,���x�C,���а�ʩ�������bԇ܇��ȫ�걣�B(y��ng)�S��,����ԣ���ϼ���������ȫ�������w���I(y��)����(w��),��