���ͳ���ˮTOC����������Ŀǰ���H�������M�ĸ߹⏊172nm�β��L��(zh��n)���������,�ص׿˷����Ј��ϬF(xi��n)��TOC���������Â��y(t��ng)185nm�͉�������⏊�O�Ͷ���ɵĽ���Ч����ļ��g(sh��)ƿ�i,����Ч��������ӹ��I(y��)����ˮTOC������������.����ʹ�É������_5�fС�r,������ǻ�w����316L���P�,��(n��i)���R�撁���O(sh��)Ӌ.̎���������S�Ñ�Ҫ����.

�ߏ���172nm��(zh��n)�������������:

���L��172 nm�������������������_7.2 eV�����Դ��_�����(sh��)�����I,����һϵ�л��W(xu��)����(y��ng)�ͱ���ӹ�̎���^�̵Ļ��A(ch��)��

�ЙC��ķֽ������,��

���W(xu��)������e(Photo-CVD),��

�������,������ӱ�Ĥ���ܵĸ���,��

����,��

��(zh��n)���������Դ�Ĺ⏊ݔ�����_���y(t��ng)�͉�������1000��,��ʹ̎��r�g���s��,���ӹ��^�̴��ӿ졣

�ߏ���172nm�����Դ�ɑ�(y��ng)���ڰ댧(d��o)�w����I(y��)��

������ϴ,��������������c�������îa(ch��n)�����������Ļ��Ի��F,��ʹ�ЙC���������坍���棬��ʹ��������I����,��

�⻯�W(xu��)������e,�����L���N�o���ε���ӱ�Ĥ����߽�늳���(sh��)Ta2O5��HfO2��,��

���ƻ��W(xu��)�Y(ji��)��(g��u),����SiO2�M��̎���Ը����仯�W(xu��)Ӌ���ԡ�

���漤��,�������ӱ��揈���͝���,��