新型超純水TOC降解器采用目前國際上最先進的高光強172nm單波長準分子紫外燈,徹底克服了市場上現(xiàn)有TOC降解器采用傳統(tǒng)185nm低壓汞燈因光強極低而造成的降解效果差的技術(shù)瓶頸,可有效地用于電子工業(yè)超純水TOC降解和清除臭氧.燈管使用壽命高達5萬小時,降解器腔體采用316L不銹鋼,內(nèi)外鏡面拋光設計.處理流量可隨用戶要求定制.

高強度172nm準分子紫外燈簡介:

波長為172 nm的真空紫外光子能量高達7.2 eV，足以打開大多數(shù)分子鍵,，是一系列化學反應和表面加工處理過程的基礎：

有機物的分解和氧化,。

化學氣相沉積(Photo-CVD)。

表面改性，如電子薄膜性能的改善。

表面活化。

準分子紫外光源的光強輸出高達傳統(tǒng)低壓汞燈的1000倍,，使處理時間大大縮短，加工過程大大加快,。

高強度172nm紫外光源可應用于半導體制造業(yè)：

表面清洗,。高能紫外光子與氧氣作用產(chǎn)生臭氧和氧的活性基團，使有機物氧化而清潔表面,，并使表面分子鍵激活,。

光化學氣相沉積。生長各種無定形的電子薄膜,，如高介電常數(shù)Ta2O5和HfO2等,。

改善化學結(jié)構(gòu)。對SiO2進行處理以改善其化學計量性,。

表面激活,，以增加表面張力和濕潤性。