��(zh��n)���ӹ��T��(d��o)���W(xu��)������e�Ī�(d��)�؃�(y��u)�c(di��n)��

1,����Ч��ɫ��(zh��n)���������Դ

�О��Ч��(zh��n)������������Դ�ṩ�߹⏊(qi��ng)�Ć�ɫ���������Ч��(sh��)�F(xi��n)�ڂ��y(t��ng)�����Դ�¸������ܮa(ch��n)���Ļ��W(xu��)����(y��ng)��

2,�����W(xu��)���Ժ͙C(j��)е�o�p�ӹ��^��,��������x���w�����͸ߜ�?z��)᷽������Ĥ�������ܡ?/p>

3,���͜س�Ĥ�^�̣����W(xu��)����(y��ng)��ܵ�,�����ИO��ķ���(y��ng)����,��

4����Ĥ����,����Ĥ�|(zh��)�������ܱȔM�ͳ��^�ữ�W(xu��)������e��,��

5����Դ��˲�g�_����Ϩ��

�ɸ���(j��)��Ҫ�l(f��)���������,�����S�r(sh��)˲�g�_��Ϩ��,����Ҫ�ÿ��T,��

6,����Ч��(ji��)�ܣ����b�`��,����������,��

������Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)*:

1,����Դǻ����(zh��n)����������⣨���Ñ�Ҫ�����ã�

2,������(y��ng)ǻ/��Ʒ�_�ߴ磺2Ӣ���4Ӣ�羧�A

3���O����նȣ�≤7×10��7mbar�����Ñ�Ҫ�����ã�

4,�����e�ضȣ�200-450oC

5,���ضȾ��ȣ�±2��

6��Ĥ�����ȣ�≤±3��

7,����ˇ����(qi��ng)������0.1-3 mbar

8,���������L�ٶȣ�6 nm/min��Ta2O5Ĥ��

9�����w��4-10·,���|(zh��)����������������

10,�����ϵ�y(t��ng)���ã����ӱ�+�C(j��)е�ã����x��

11����Ʒ�_�D(zhu��n)�ӷ�ʽ���oֹ/�\(y��n)�ӣ����x��

12,����sϵ�y(t��ng)��ˮ��

��,����(y��ng)���I(l��ng)��

1�� �����Ƃ�댧(d��o)�w�ИI(y��)���a(ch��n)��횵�SiO2��Si3N4��Ĥ,�����c(di��n)�dz�Ĥ�ضȵ�,���ٶȿ졢��Ĥ�|(zh��)����,�������m���ڸ����ܱ�Ĥ�о����²��ϿƌW(xu��)�о�����,��

2��Si��SiGe������,��

3,���ߺ͵ͽ�늳���(sh��)��high-k��low-k����Ĥ���Ƃ䣺Ta2O5,��TiO2,��PZT��ZrO2,��HfO2,��TaON��HfON�ȡ�

4,����Ĥ�������,���˻�.

��,���a(ch��n)Ʒ�f����

1����Դǻ�����ò�ͬ��Դ����M��,��

1,������(y��ng)��ĸ�w���͇���ϵ�y(t��ng)��

1,������(y��ng)�ң����N��Ĥ�ij��e,��

2����ի@�ü��y��ϵ�y(t��ng)���ṩ���ϳ��e��ˇ�l��,��

3,���������ϵ�y(t��ng)�����ܿ��Ɯضȡ��D(zhu��n)��,��

4,����·����ϵ�y(t��ng)��

5,�����O(sh��)�������նȸ�,�����ٿ졢��Ƭ�bж����ȃ�(y��u)�c(di��n),�����߾��ȿ��ƻ�Ƭ�ӟ��_,���Ԅӿ؜ء����Пo��Ⱦ,���Ś���С�͜ضȾ�������c(di��n),��