�ʷ��ӹ��T��(d��o)���W(xu��)������e�Ī��؃�(y��u)�c��

1,����Ч��ɫ�ʷ��������Դ

�О��Ч�ʷ�����������Դ�ṩ�߹⏊�Ć�ɫ���������Ч���F(xi��n)�ڂ��y(t��ng)�����Դ�¸������ܮa(ch��n)���Ļ��W(xu��)����(y��ng)��

2,�����W(xu��)���Ժ͙Cе�o�p�ӹ��^��,��������x���w�����͸ߜ�?z��)᷽������Ĥ�������ܡ?/p>

3���͜س�Ĥ�^��,�����W(xu��)����(y��ng)��ܵ�,�����ИO��ķ���(y��ng)���ʡ�

4,����Ĥ����,����Ĥ�|(zh��)�������ܱȔM�ͳ��^�ữ�W(xu��)������e��,��

5,����Դ��˲�g�_����Ϩ��

�ɸ���(j��)��Ҫ�l(f��)���������,�����S�r˲�g�_��Ϩ��,����Ҫ�ÿ��T��

6,����Ч��(ji��)��,�����b�`���������,��

��,����Ҫ���g(sh��)ָ��*:

1����Դǻ���ʷ���������⣨���Ñ�Ҫ�����ã�

2,������(y��ng)ǻ/��Ʒ�_�ߴ磺2Ӣ���4Ӣ�羧�A

3,���O����նȣ�≤7×10��7mbar�����Ñ�Ҫ�����ã�

4�����e�ضȣ�200-450oC

5,���ضȾ��ȣ�±2��

6,��Ĥ�����ȣ�≤±3��

7����ˇ����������0.1-3 mbar

8���������L�ٶȣ�6 nm/min��Ta2O5Ĥ��

9,�����w��4-10·���|(zh��)����������������

10,�����ϵ�y(t��ng)���ã����ӱ�+�Cе�ã����x��

11,����Ʒ�_�D(zhu��n)�ӷ�ʽ���oֹ/�\�ӣ����x��

12����sϵ�y(t��ng)��ˮ��

��,����(y��ng)���I(l��ng)��

1,�� �����Ƃ�댧(d��o)�w�ИI(y��)���a(ch��n)��횵�SiO2��Si3N4��Ĥ,�����c�dz�Ĥ�ضȵ�,���ٶȿ졢��Ĥ�|(zh��)����,�������m���ڸ����ܱ�Ĥ�о����²��ϿƌW(xu��)�о�����,��

2��Si��SiGe������,��

3,���ߺ͵ͽ�늳���(sh��)��high-k��low-k����Ĥ���Ƃ䣺Ta2O5,��TiO2,��PZT��ZrO2,��HfO2,��TaON��HfON�ȡ�

4,����Ĥ�������,���˻�.

��,���a(ch��n)Ʒ�f����

1����Դǻ�����ò�ͬ��Դ����M��,��

1,������(y��ng)��ĸ�w���͇���ϵ�y(t��ng)��

1,������(y��ng)�ң����N��Ĥ�ij��e,��

2����ի@�ü��y��ϵ�y(t��ng)���ṩ���ϳ��e��ˇ�l��,��

3,���������ϵ�y(t��ng)�����ܿ��Ɯضȡ��D(zhu��n)��,��

4,����·����ϵ�y(t��ng)��

5,�����O(sh��)�������նȸ�,�����ٿ�,����Ƭ�bж����ȃ�(y��u)�c�����߾��ȿ��ƻ�Ƭ�ӟ��_,���Ԅӿ؜ء����Пo��Ⱦ,���Ś���С�͜ضȾ�������c,��