真空泵機組圖片
更新時間：2011-05-25 14:20
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干式螺桿真空泵介紹
MAHA變螺距干式羅桿真空泵，設(shè)計緊湊,，運行高效,。螺桿與軸一體加工，最顯著的特點是無需密封液,，從而避免了密封液對介質(zhì)的污染,。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計不同，而是采用了專利的可變螺距設(shè)計,，可節(jié)省30％的能量,，氣體排放溫度更低，從而無須冷卻凈化,。MHSP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a）,，而其極限真空可達0.005Torr。MAHA系列結(jié)構(gòu)緊湊,，高效節(jié)能的螺桿式真空泵,。該泵的最大特點是螺桿變螺距設(shè)計，該泵比其他競爭者的干泵節(jié)能達30%以上,，排出的氣體溫度也更低,。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無水無油,，直通氣路設(shè)計，MAHA泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體,。
螺桿式無油機械真空泵又稱為干式螺桿真空泵,，是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間,、形成多個級,，氣體在相等的各個槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進行傳輸運動，但無壓縮,，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用,。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比,。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響,。在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹,、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等,。該泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。這種類型的泵如果選用適當?shù)妮^簡單螺桿牙型截面,，則制造簡單,，可保證很高的加工精度，且容易動平衡,。
MAHA變螺距真空泵,，異形螺桿真空泵與MAHA等距干式螺桿真空泵。泵是臥式結(jié)構(gòu),。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形,，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動齒輪位于軸承支座下面,。變頻電機通過聯(lián)軸節(jié)與主動轉(zhuǎn)子連接,。該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對排除含微塵氣體較為有利,。
MHSP干式螺桿真空泵運轉(zhuǎn)時泵腔內(nèi)完全無水無油,，由于是直通氣路設(shè)計，MHDP和MHSP MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體,。由于泵腔內(nèi)沒有金屬與金屬間的接觸,，磨損也就大大減少了。MAHA真空泵MHSP SHHP和MHDP干式螺桿泵都是水冷系統(tǒng).
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干式螺桿真空泵的典型應用：
• 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
• 半導體刻蝕工藝,。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
• 除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外,，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求
• 在化學工業(yè),、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾,、干燥,、脫泡、包裝等,，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵
• 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,，以防止油污染
• 化學和醫(yī)藥流程
• 溶劑回收
• 成型
• 結(jié)晶
• 干刻
• 濺鍍
• 蒸氣回收>
…..空中模擬
>MAHA干式螺桿真空泵的特點優(yōu)點
1.MHDP等距干式螺桿真空泵
MHDP泵是等螺距設(shè)計,，可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbara），極限真空可達0.005Torr（0.008mbara）在運轉(zhuǎn)過程中沒有油或水,，泵腔無部分接觸,，簡單，堅固的設(shè)計可以處理工作中的副產(chǎn)品一液體,，冷凝物,，甚至小顆粒，短氣通道可以使泵迅速排放,，直接驅(qū)動或V皮帶有加長的轉(zhuǎn)子,，操作安靜----低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全水無油,，直通氣路設(shè)計,，MHDP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體。主要特點：
沒有油或水和過程氣體接觸
運行部件之間無金屬相互接觸
簡單緊固的設(shè)計可以處理工作時產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體,，冷凝物甚至微小顆粒
節(jié)省空間的C型發(fā)動機設(shè)計除去了連軸器和防護裝置的需要
泵內(nèi)氣通道較短,，氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
型號 CFM/m3/h HP/k W
MHDP-150 120/150 5/4
MHDP-330 270/330 9/7
MHDP-400 330/400 20/15
MHDP-800 660/780 26/20
2.MHSP變螺距干式螺桿真空泵
MHSP變螺距干式羅茨真空泵,，設(shè)計緊湊,，運行高效。最顯著的特點是無需密封液,，從而避免了密封液對介質(zhì)的污染,。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計不同，而是采用了專利的可變螺距設(shè)計,，提高了效率,，降低了排出氣體溫度,從而無須冷卻凈化,可節(jié)省30％的能量，這是該泵的最大特點,。MHSP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a）,，而其極限真空可達0.01Torr（0.013mbar a）。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無水無油，直通氣路設(shè)計,，MHSP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體
MHSP主要特點：
• 沒有油或水和過程氣體接觸
• 運行部件之間無金屬相互接觸
• 簡單緊固的設(shè)計可以處理工作時產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體,，冷凝物甚至微小顆粒
• 節(jié)省空間的C型發(fā)動機設(shè)計除去了連軸器和防護裝置的需要
• 泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速
• 即使不使用消音裝置,，噪音也低于90dB(A)
變螺距型號 CFM/m3/h HP/k W
MHSP-40 40 5/3.7
MHSP-80 80 5 /3.7
MHSP -150 120/150 5 /3.7
MHSP -320 270/320 10 /7.5
MHSP -450 370/450 15 /11
MHSP - 800 660/800 20 /15
MHSP -1500 1300/1500 50 /37
MHSP -3000 2500/3000 75 /55
異形螺距型號 CFM/m3/h HP/k W
MHHP-310 310 15/11.5
MHHP-600 600 25/19
MAHA變螺距干式羅桿真空泵，設(shè)計緊湊,，運行高效,。螺桿與軸一體加工，最顯著的特點是無需密封液,，從而避免了密封液對介質(zhì)的污染,。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計不同，而是采用了專利的可變螺距設(shè)計,，可節(jié)省30％的能量,，氣體排放溫度更低，從而無須冷卻凈化,。MHSP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a）,，而其極限真空可達0.005Torr。MAHA系列結(jié)構(gòu)緊湊,，高效節(jié)能的螺桿式真空泵,。該泵的最大特點是螺桿變螺距設(shè)計，該泵比其他競爭者的干泵節(jié)能達30%以上,，排出的氣體溫度也更低,。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無水無油,，直通氣路設(shè)計，MAHA泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體,。
螺桿式無油機械真空泵又稱為干式螺桿真空泵,，是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間,、形成多個級,，氣體在相等的各個槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進行傳輸運動，但無壓縮,，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用,。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比,。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響,。在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹,、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等,。該泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。這種類型的泵如果選用適當?shù)妮^簡單螺桿牙型截面,，則制造簡單,，可保證很高的加工精度，且容易動平衡,。
MAHA變螺距真空泵,，異形螺桿真空泵與MAHA等距干式螺桿真空泵。泵是臥式結(jié)構(gòu),。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形,，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動齒輪位于軸承支座下面,。變頻電機通過聯(lián)軸節(jié)與主動轉(zhuǎn)子連接,。該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對排除含微塵氣體較為有利,。
MHSP干式螺桿真空泵運轉(zhuǎn)時泵腔內(nèi)完全無水無油,，由于是直通氣路設(shè)計，MHDP和MHSP MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體,。由于泵腔內(nèi)沒有金屬與金屬間的接觸,，磨損也就大大減少了。MAHA真空泵MHSP SHHP和MHDP干式螺桿泵都是水冷系統(tǒng).
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干式螺桿真空泵的典型應用：
• 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
• 半導體刻蝕工藝,。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
• 除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外,，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求
• 在化學工業(yè),、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾,、干燥,、脫泡、包裝等,，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵
• 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,，以防止油污染
• 化學和醫(yī)藥流程
• 溶劑回收
• 成型
• 結(jié)晶
• 干刻
• 濺鍍
• 蒸氣回收>
1.MHDP等距干式螺桿真空泵
沒有油或水和過程氣體接觸
運行部件之間無金屬相互接觸
簡單緊固的設(shè)計可以處理工作時產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體,，冷凝物甚至微小顆粒
節(jié)省空間的C型發(fā)動機設(shè)計除去了連軸器和防護裝置的需要
泵內(nèi)氣通道較短,，氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
MHDP-150 120/150 5/4
MHDP-330 270/330 9/7
MHDP-400 330/400 20/15
MHDP-800 660/780 26/20
• 沒有油或水和過程氣體接觸
• 運行部件之間無金屬相互接觸
• 簡單緊固的設(shè)計可以處理工作時產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體,，冷凝物甚至微小顆粒
• 節(jié)省空間的C型發(fā)動機設(shè)計除去了連軸器和防護裝置的需要
• 泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速
• 即使不使用消音裝置,，噪音也低于90dB(A)
MHSP-80 80 5 /3.7
MHSP -150 120/150 5 /3.7
MHSP -320 270/320 10 /7.5
MHSP -450 370/450 15 /11
MHSP - 800 660/800 20 /15
MHSP -1500 1300/1500 50 /37
MHSP -3000 2500/3000 75 /55
MHHP-310 310 15/11.5
MHHP-600 600 25/19
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